① Dobra kontrola i powtarzalność grubości powłoki
To, czy grubość filmu może być kontrolowana przy ustalonej wartości, nazywa się kontrolowalnością grubości filmu. Wymagana grubość filmu może być powtarzana wiele razy, co nazywa się powtarzalnością grubości filmu. Ponieważ prąd rozładowania i prąd docelowy powłoki napylanej próżniowo mogą być kontrolowane oddzielnie. Dlatego grubość napylanej warstwy jest kontrolowana, a warstwa o ustalonej grubości może być niezawodnie osadzona. Ponadto powłoka napylana może uzyskać warstwę o jednolitej grubości na dużej powierzchni.
② Silna przyczepność pomiędzy folią a podłożem
Energia rozpylonych atomów jest o 1-2 rzędy wielkości wyższa niż energia atomów odparowanych. Konwersja energii wysokoenergetycznych rozpylonych atomów osadzonych na podłożu jest znacznie wyższa niż w przypadku atomów odparowanych, co generuje większe ciepło i zwiększa przyczepność między rozpylonymi atomami a podłożem. Ponadto niektóre wysokoenergetyczne rozpylone atomy wytwarzają różne stopnie wtrysku, tworząc warstwę pseudodyfuzyjną na podłożu. Ponadto podłoże jest zawsze czyszczone i aktywowane w obszarze plazmy podczas procesu formowania filmu, co usuwa rozpylone atomy o słabej przyczepności oraz oczyszcza i aktywuje powierzchnię podłoża. Dlatego rozpylona folia ma silną przyczepność do podłoża.
③ Można przygotować nowy materiał filmowy, inny niż docelowy
Jeśli podczas rozpylania zostanie wprowadzony gaz reaktywny, aby wywołać reakcję z celem, można uzyskać nową warstwę materiału całkowicie różniącą się od celu. Na przykład, krzem jest używany jako cel rozpylania, a tlen i argon są wprowadzane razem do komory próżniowej. Po rozpylaniu można uzyskać warstwę izolacyjną SiOz. Używając tytanu jako celu rozpylania, azot i argon są wprowadzane razem do komory próżniowej, a faza TiN przypominająca złoto może zostać uzyskana po rozpylaniu.
④ Wysoka czystość i dobra jakość filmu
Ponieważ w urządzeniu do przygotowywania filmu rozpylającego nie ma żadnego komponentu tygla, komponenty materiału grzejnego tygla nie zostaną zmieszane w warstwie filmu rozpylającego. Wadami powlekania rozpylającego są wolniejsza prędkość tworzenia filmu niż w przypadku powlekania przez odparowanie, wyższa temperatura podłoża, łatwiej ulega wpływowi zanieczyszczeń gazowych, a struktura urządzenia jest bardziej złożona.
Niniejszy artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua, producentaSprzęt do powlekania próżniowego
Czas publikacji: 09-03-2023