W porównaniu z innymi technologiami powlekania, powłoka napylana magnetronowo charakteryzuje się następującymi cechami: parametry robocze mają duży zakres dynamicznej regulacji prędkości osadzania powłoki i grubości (stan powlekanego obszaru) można łatwo kontrolować, a geometria tarczy magnetronowej nie ma ograniczeń projektowych, aby zapewnić jednorodność powłoki; nie ma problemu z cząstkami kropel w warstwie filmu; prawie wszystkie metale, stopy i ceramika mogą być wykonane z materiałów docelowych; a materiał docelowy może być wytwarzany przez napylanie magnetronowe DC lub RF, które może generować czyste powłoki metalowe lub stopowe o precyzyjnym stosunku, a także metalowe reaktywne warstwy z udziałem gazu. Poprzez napylanie DC lub RF możliwe jest generowanie czystych powłok metalowych lub stopowych o precyzyjnych i stałych stosunkach, a także metalowych reaktywnych warstw z udziałem gazu, aby spełnić wymagania różnorodności cienkich warstw i wysokiej precyzji. Typowe parametry procesu dla powłoki napylanej magnetronowo to: ciśnienie robocze 0,1 Pa; napięcie docelowe 300~700 V; docelowa gęstość mocy 1~36W/cm².
Cechy szczególne rozpylania magnetronowego to:
(1) Wysoka szybkość osadzania. Dzięki zastosowaniu elektrod magnetronowych można uzyskać bardzo duży prąd jonów bombardujących cel, więc szybkość trawienia rozpyłowego na powierzchni docelowej i szybkość osadzania filmu na powierzchni podłoża są bardzo wysokie.
(2) Wysoka wydajność energetyczna. Prawdopodobieństwo kolizji elektronów o niskiej energii i atomów gazu jest wysokie, więc szybkość dysocjacji gazu jest znacznie zwiększona. W związku z tym impedancja gazu wyładowczego (lub plazmy) jest znacznie zmniejszona. Dlatego rozpylanie magnetronowe DC w porównaniu z rozpylaniem dipolowym DC, nawet jeśli ciśnienie robocze zostanie zmniejszone z 1~10Pa do 10-210-1Pa, napięcie rozpylania jest również zmniejszone z tysięcy woltów do setek woltów, wydajność rozpylania i szybkość osadzania są zwiększone o rzędy wielkości.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 01-12-2023