① ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਦੀ ਚੰਗੀ ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗਤਾ ਅਤੇ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ
ਕੀ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਪਹਿਲਾਂ ਤੋਂ ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੁੱਲ 'ਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਸਨੂੰ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗਤਾ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਲੋੜੀਂਦੀ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਕਈ ਵਾਰ ਦੁਹਰਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਨੂੰ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਕਿਉਂਕਿ ਵੈਕਿਊਮ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਡਿਸਚਾਰਜ ਕਰੰਟ ਅਤੇ ਟਾਰਗੇਟ ਕਰੰਟ ਨੂੰ ਵੱਖਰੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਸਪਟਰਡ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨਿਯੰਤਰਣਯੋਗ ਹੈ, ਅਤੇ ਪਹਿਲਾਂ ਤੋਂ ਨਿਰਧਾਰਤ ਮੋਟਾਈ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਨੂੰ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਢੰਗ ਨਾਲ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਸਪਟਰ ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕਸਾਰ ਮੋਟਾਈ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।
② ਫਿਲਮ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਚਕਾਰ ਮਜ਼ਬੂਤ ਅਡੈਸ਼ਨ
ਸਪਟਰਡ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦੀ ਊਰਜਾ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੀਤੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨਾਲੋਂ 1-2 ਆਰਡਰ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਸਪਟਰਡ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਦਾ ਊਰਜਾ ਪਰਿਵਰਤਨ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੀਤੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨਾਲੋਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਉੱਚ ਗਰਮੀ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਸਪਟਰਡ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਚਕਾਰ ਅਡੈਸ਼ਨ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਕੁਝ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਸਪਟਰਡ ਪਰਮਾਣੂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਡਿਗਰੀਆਂ ਦੇ ਟੀਕੇ ਪੈਦਾ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਇੱਕ ਸੂਡੋਡਾਈਫਿਊਜ਼ਨ ਪਰਤ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਹਮੇਸ਼ਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਸਾਫ਼ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਮਜ਼ੋਰ ਅਡੈਸ਼ਨ ਵਾਲੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਹਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ ਨੂੰ ਸ਼ੁੱਧ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਸਪਟਰਡ ਫਿਲਮ ਦਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨਾਲ ਮਜ਼ਬੂਤ ਅਡੈਸ਼ਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
③ ਟੀਚੇ ਤੋਂ ਵੱਖਰੀ ਨਵੀਂ ਸਮੱਗਰੀ ਵਾਲੀ ਫਿਲਮ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ
ਜੇਕਰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਨੂੰ ਟੀਚੇ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਕਰਨ ਲਈ ਪੇਸ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਟੀਚੇ ਤੋਂ ਬਿਲਕੁਲ ਵੱਖਰੀ ਇੱਕ ਨਵੀਂ ਸਮੱਗਰੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਨੂੰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਟਾਰਗੇਟ ਵਜੋਂ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਕਸੀਜਨ ਅਤੇ ਆਰਗਨ ਨੂੰ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇਕੱਠੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਪਟਰਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, SiOz ਇੰਸੂਲੇਟਿੰਗ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨੂੰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਟਾਰਗੇਟ ਵਜੋਂ ਵਰਤਦੇ ਹੋਏ, ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਅਤੇ ਆਰਗਨ ਨੂੰ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਇਕੱਠੇ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਪੜਾਅ TiN ਸੋਨੇ ਵਰਗੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ।
④ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਚੰਗੀ ਗੁਣਵੱਤਾ
ਕਿਉਂਕਿ ਸਪਟਰਿੰਗ ਫਿਲਮ ਤਿਆਰੀ ਯੰਤਰ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਕਰੂਸੀਬਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਕਰੂਸੀਬਲ ਹੀਟਰ ਮਟੀਰੀਅਲ ਦੇ ਹਿੱਸੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਫਿਲਮ ਲੇਅਰ ਵਿੱਚ ਨਹੀਂ ਮਿਲਾਏ ਜਾਣਗੇ। ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਇਹ ਹਨ ਕਿ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਦੀ ਗਤੀ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੋਟਿੰਗ ਨਾਲੋਂ ਹੌਲੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਗੈਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੋਣਾ ਆਸਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਡਿਵਾਈਸ ਦੀ ਬਣਤਰ ਵਧੇਰੇ ਗੁੰਝਲਦਾਰ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
ਇਹ ਲੇਖ ਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਇੱਕ ਨਿਰਮਾਤਾ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਉਪਕਰਣ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਮਾਰਚ-09-2023