① ଫିଲ୍ମ ଘନତାର ଭଲ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ପୁନରାବୃତ୍ତି କ୍ଷମତା
ଫିଲ୍ମ ଘନତାକୁ ଏକ ପୂର୍ବନିର୍ଦ୍ଧାରିତ ମୂଲ୍ୟରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ କି ନାହିଁ ତାହାକୁ ଫିଲ୍ମ ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣଯୋଗ୍ୟତା କୁହାଯାଏ। ଆବଶ୍ୟକ ଫିଲ୍ମ ଘନତାକୁ ଅନେକ ଥର ପୁନରାବୃତ୍ତି କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହାକୁ ଫିଲ୍ମ ଘନତା ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟତା କୁହାଯାଏ। କାରଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣର ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ ଏବଂ ଟାର୍ଗେଟ କରେଣ୍ଟକୁ ପୃଥକ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ। ତେଣୁ, ସ୍ପଟର ଫିଲ୍ମର ଘନତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣଯୋଗ୍ୟ, ଏବଂ ପୂର୍ବନିର୍ଦ୍ଧାରିତ ଘନତା ସହିତ ଫିଲ୍ମକୁ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାବରେ ଜମା କରାଯାଇପାରିବ। ଏହା ସହିତ, ସ୍ପଟର ଆବରଣ ଏକ ବଡ଼ ପୃଷ୍ଠରେ ସମାନ ଘନତା ସହିତ ଏକ ଫିଲ୍ମ ପାଇପାରିବ।
② ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଦୃଢ଼ ଆବଦ୍ଧତା
ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପରମାଣୁ ତୁଳନାରେ ଛିଟିକି ପଡ଼ିଥିବା ପରମାଣୁର ଶକ୍ତି 1-2 ପରିମାଣ ଅଧିକ। ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇଥିବା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ସ୍ପଟ୍ ହୋଇଥିବା ପରମାଣୁର ଶକ୍ତି ରୂପାନ୍ତର ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପରମାଣୁ ତୁଳନାରେ ବହୁତ ଅଧିକ, ଯାହା ଅଧିକ ଉତ୍ତାପ ସୃଷ୍ଟି କରେ ଏବଂ ସ୍ଫଟ୍ ହୋଇଥିବା ପରମାଣୁ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଆପୋଷକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, କିଛି ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ସ୍ପଟ୍ ହୋଇଥିବା ପରମାଣୁ ବିଭିନ୍ନ ଡିଗ୍ରୀ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ଉତ୍ପାଦନ କରନ୍ତି, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଏକ ସ୍ୟୁଡୋଡିଫ୍ୟୁଜନ ସ୍ତର ଗଠନ କରନ୍ତି। ଏହା ସହିତ, ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସର୍ବଦା ପ୍ଲାଜମା ଅଞ୍ଚଳରେ ସଫା ଏବଂ ସକ୍ରିୟ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଦୁର୍ବଳ ଆପୋଷ ସହିତ ସ୍ଫଟ୍ ହେଉଥିବା ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ଅପସାରଣ କରେ, ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ପରିଷ୍କାର ଏବଂ ସକ୍ରିୟ କରେ। ତେଣୁ, ସ୍ଫଟ୍ ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସହିତ ଦୃଢ଼ ଆପୋଷ ଥାଏ।
③ ଲକ୍ଷ୍ୟଠାରୁ ଭିନ୍ନ ନୂତନ ସାମଗ୍ରୀ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ
ଯଦି ସ୍ପଟରିଂ ସମୟରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ୍ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଏହା ଲକ୍ଷ୍ୟ ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରିପାରିବ, ତେବେ ଲକ୍ଷ୍ୟଠାରୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭିନ୍ନ ଏକ ନୂତନ ସାମଗ୍ରୀ ଫିଲ୍ମ ମିଳିପାରିବ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ସିଲିକନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ଅମ୍ଳଜାନ ଏବଂ ଆର୍ଗନ୍ ଏକାଠି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ରଖାଯାଏ। ସ୍ପଟରିଂ ପରେ, SiOz ଇନସୁଲେଟିଂ ଫିଲ୍ମ ମିଳିପାରିବ। ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ଭାବରେ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ବ୍ୟବହାର କରି, ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଏବଂ ଆର୍ଗନ୍ ଏକାଠି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ରଖାଯାଏ, ଏବଂ ସ୍ପଟରିଂ ପରେ ପର୍ଯ୍ୟାୟ TiN ସୁନା ପରି ଫିଲ୍ମ ମିଳିପାରିବ।
④ ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ଭଲ ଗୁଣବତ୍ତା ବିଶିଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ
ସ୍ପଟରିଂ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତି ଡିଭାଇସରେ କୌଣସି କ୍ରୁସିବଲ୍ ଉପାଦାନ ନଥିବାରୁ, କ୍ରୁସିବଲ୍ ହିଟର୍ ସାମଗ୍ରୀର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ସ୍ପଟରିଂ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ହେବ ନାହିଁ। ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣର ଅସୁବିଧା ହେଉଛି ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ଗତି ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ ଅପେକ୍ଷା ଧୀର, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା ଅଧିକ, ଅପବିତ୍ରତା ଗ୍ୟାସ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଭାବିତ ହେବା ସହଜ ଏବଂ ଡିଭାଇସ୍ ଗଠନ ଅଧିକ ଜଟିଳ।
ଏହି ଲେଖାଟି ଗୁଆଙ୍ଗଡୋଙ୍ଗ୍ ଜେନହୁଆ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ, ଯାହାର ଏକ ନିର୍ମାତାଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୦୯-୨୦୨୩