ଅନ୍ୟ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ତୁଳନା କରି, ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ନିମ୍ନଲିଖିତ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ବର୍ଣ୍ଣିତ: କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକରେ ଆବରଣ ଜମା କରିବାର ଗତି ଏବଂ ଘନତା (ଆବରଣ କ୍ଷେତ୍ରର ଅବସ୍ଥା) ର ଏକ ବୃହତ ଗତିଶୀଳ ସମାୟୋଜନ ପରିସର ସହଜରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଆବରଣର ସମାନତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଟାର୍ଗେଟର ଜ୍ୟାମିତିରେ କୌଣସି ଡିଜାଇନ୍ ସୀମା ନାହିଁ; ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରରେ ବୁନ୍ଦା କଣିକାର କୌଣସି ସମସ୍ୟା ନାହିଁ; ପ୍ରାୟ ସମସ୍ତ ଧାତୁ, ମିଶ୍ରଧାତୁ ଏବଂ ସିରାମିକ୍ସକୁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀରେ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ; ଏବଂ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ DC କିମ୍ବା RF ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ସଠିକ୍ ଅନୁପାତ ସହିତ ବିଶୁଦ୍ଧ ଧାତୁ କିମ୍ବା ମିଶ୍ରଧାତୁ ଆବରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ, ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ଅଂଶଗ୍ରହଣ ସହିତ ଧାତୁ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଫିଲ୍ମ ମଧ୍ୟ ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ। DC କିମ୍ବା RF ସ୍ପଟରିଂ ମାଧ୍ୟମରେ, ପତଳା ଫିଲ୍ମ ବିବିଧତା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତାର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ସଠିକ୍ ଏବଂ ସ୍ଥିର ଅନୁପାତ ସହିତ ବିଶୁଦ୍ଧ ଧାତୁ କିମ୍ବା ମିଶ୍ରଧାତୁ ଆବରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ସମ୍ଭବ। ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ପାଇଁ ସାଧାରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି: 0.1Pa ର କାର୍ଯ୍ୟ ଚାପ; 300 ~ 700V ର ଲକ୍ଷ୍ୟ ଭୋଲଟେଜ; 1 ~ 36W / cm² ର ଲକ୍ଷ୍ୟ ଶକ୍ତି ଘନତ୍ୱ।
ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂର ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି:
(୧) ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାର। ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ବ୍ୟବହାର ଯୋଗୁଁ, ଏକ ବହୁତ ବଡ଼ ଟାର୍ଗେଟ୍ ବୋମାମାଡ଼୍ମେଣ୍ଟ୍ ଆୟନ୍ କରେଣ୍ଟ ପ୍ରାପ୍ତ କରାଯାଇପାରିବ, ତେଣୁ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ସ୍ପଟର୍ ଏଚିଂ ହାର ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଫିଲ୍ମ ଜମା ହାର ଉଭୟ ବହୁତ ଅଧିକ।
(୨) ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ଦକ୍ଷତା। କମ୍ ଶକ୍ତି ବିଶିଷ୍ଟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ପରମାଣୁର ଧକ୍କା ସମ୍ଭାବନା ଅଧିକ, ତେଣୁ ଗ୍ୟାସ୍ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ହାର ବହୁତ ବୃଦ୍ଧି ପାଏ। ତଦନୁସାରେ, ନିର୍ଗତ ଗ୍ୟାସ୍ (କିମ୍ବା ପ୍ଲାଜ୍ମା)ର ପ୍ରତିବାଧା ବହୁତ ହ୍ରାସ ପାଏ। ତେଣୁ, DC ଡାଇପୋଲ୍ ସ୍ପଟରିଂ ତୁଳନାରେ DC ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ, ଯଦିଓ କାର୍ଯ୍ୟ ଚାପ 1~10Pa ରୁ 10-210-1Pa କୁ ହ୍ରାସ କରାଯାଏ, ସ୍ପଟରିଂ ଭୋଲଟେଜ୍ ମଧ୍ୟ ହଜାର ହଜାର ଭୋଲଟ୍ ରୁ ଶହ ଶହ ଭୋଲଟ୍ କୁ ହ୍ରାସ ପାଏ, ସ୍ପଟରିଂ ଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଜମା ହାର ପରିମାଣର କ୍ରମ ଦ୍ୱାରା ବୃଦ୍ଧି ପାଏ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୦୧-୨୦୨୩