Vergeleken met andere coatingtechnologieën wordt magnetronsputtercoating gekenmerkt door de volgende kenmerken: de werkparameters hebben een groot dynamisch instelbereik, de afzettingssnelheid van de coating en de dikte (de toestand van het gecoate gebied) kan eenvoudig worden geregeld, en er zijn geen ontwerpbeperkingen op de geometrie van het magnetrontarget om de uniformiteit van de coating te garanderen; er is geen probleem met druppeldeeltjes in de filmlaag; bijna alle metalen, legeringen en keramiek kunnen worden verwerkt tot targetmaterialen; en het targetmateriaal kan worden geproduceerd door DC- of RF-magnetronsputtering, wat zuivere metaal- of legeringscoatings met nauwkeurige verhoudingen kan genereren, evenals metaalreactieve films met gasdeelname. Door DC- of RF-sputtering is het mogelijk om zuivere metaal- of legeringscoatings te genereren met nauwkeurige en constante verhoudingen, evenals metaalreactieve films met gasdeelname, om te voldoen aan de eisen van dunnefilmdiversiteit en hoge precisie. Typische procesparameters voor magnetronsputteringcoating zijn: werkdruk van 0,1 Pa; targetspanning van 300~700 V; targetvermogensdichtheid van 1~36 W/cm².
De specifieke kenmerken van magnetron sputteren zijn:
(1) Hoge depositiesnelheid. Door het gebruik van magnetronelektroden kan een zeer hoge bombardements-ionenstroom worden verkregen, waardoor zowel de sputter-etssnelheid op het doeloppervlak als de filmdepositiesnelheid op het substraatoppervlak zeer hoog zijn.
(2) Hoge energie-efficiëntie. De kans op botsingen tussen elektronen met lage energie en gasatomen is hoog, waardoor de gasdissociatiesnelheid aanzienlijk toeneemt. Dienovereenkomstig wordt de impedantie van het ontladingsgas (of plasma) aanzienlijk verlaagd. Daarom is DC-magnetronsputteren vergeleken met DC-dipoolsputteren, zelfs als de werkdruk wordt verlaagd van 1~10 Pa naar 10-210-1 Pa, ook de sputterspanning wordt verlaagd van duizenden volt naar honderden volt, de sputterefficiëntie en de afzettingssnelheid nemen met ordes van grootte toe.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 1 december 2023