स्पटरिङ कोटिंग फिल्महरूको विशेषताहरू

① फिल्म मोटाईको राम्रो नियन्त्रणयोग्यता र दोहोरिने क्षमता

फिल्मको मोटाईलाई पूर्वनिर्धारित मानमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ कि सकिँदैन भन्ने कुरालाई फिल्म मोटाई नियन्त्रणयोग्यता भनिन्छ। आवश्यक फिल्म मोटाई धेरै पटक दोहोर्याउन सकिन्छ, जसलाई फिल्म मोटाई दोहोर्याउने क्षमता भनिन्छ। किनभने भ्याकुम स्पटरिङ कोटिंगको डिस्चार्ज करेन्ट र लक्षित करेन्टलाई छुट्टाछुट्टै नियन्त्रण गर्न सकिन्छ। त्यसकारण, स्पटर गरिएको फिल्मको मोटाई नियन्त्रणयोग्य छ, र पूर्वनिर्धारित मोटाई भएको फिल्मलाई भरपर्दो रूपमा जम्मा गर्न सकिन्छ। थप रूपमा, स्पटर कोटिंगले ठूलो सतहमा एकसमान मोटाई भएको फिल्म प्राप्त गर्न सक्छ।

② फिल्म र सब्सट्रेट बीच बलियो आसंजन

स्पटर गरिएका परमाणुहरूको ऊर्जा वाष्पीकरण गरिएका परमाणुहरूको भन्दा १-२ अर्डर परिमाणमा बढी हुन्छ। सब्सट्रेटमा जम्मा गरिएका उच्च-ऊर्जा स्पटर गरिएका परमाणुहरूको ऊर्जा रूपान्तरण वाष्पीकरण गरिएका परमाणुहरूको भन्दा धेरै बढी हुन्छ, जसले उच्च ताप उत्पन्न गर्छ र स्पटर गरिएका परमाणुहरू र सब्सट्रेट बीचको आसंजन बढाउँछ। थप रूपमा, केही उच्च-ऊर्जा स्पटर गरिएका परमाणुहरूले विभिन्न डिग्रीको इन्जेक्सन उत्पादन गर्छन्, जसले सब्सट्रेटमा स्यूडोडिफ्यूजन तह बनाउँछ। थप रूपमा, फिल्म बनाउने प्रक्रियाको क्रममा सब्सट्रेट सधैं प्लाज्मा क्षेत्रमा सफा र सक्रिय हुन्छ, जसले कमजोर आसंजन भएका स्पटरिङ परमाणुहरूलाई हटाउँछ, र सब्सट्रेट सतहलाई शुद्ध र सक्रिय गर्दछ। त्यसकारण, स्पटर गरिएको फिल्ममा सब्सट्रेटमा बलियो आसंजन हुन्छ।

③ लक्ष्य भन्दा फरक नयाँ सामग्री फिल्म तयार गर्न सकिन्छ

यदि स्पटरिङको समयमा प्रतिक्रियाशील ग्यासलाई लक्ष्यसँग प्रतिक्रिया गर्नको लागि प्रस्तुत गरिन्छ भने, लक्ष्य भन्दा पूर्ण रूपमा फरक नयाँ सामग्री फिल्म प्राप्त गर्न सकिन्छ। उदाहरणका लागि, सिलिकनलाई स्पटरिङ लक्ष्यको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र अक्सिजन र आर्गनलाई भ्याकुम चेम्बरमा सँगै राखिन्छ। स्पटरिङ पछि, SiOz इन्सुलेट फिल्म प्राप्त गर्न सकिन्छ। टाइटेनियमलाई स्पटरिङ लक्ष्यको रूपमा प्रयोग गरेर, नाइट्रोजन र आर्गनलाई भ्याकुम चेम्बरमा सँगै राखिन्छ, र स्पटरिङ पछि चरण TiN सुन जस्तो फिल्म प्राप्त गर्न सकिन्छ।

④ उच्च शुद्धता र फिल्मको राम्रो गुणस्तर

स्पटरिङ फिल्म तयारी उपकरणमा कुनै क्रुसिबल कम्पोनेन्ट नभएकोले, क्रुसिबल हीटर सामग्रीका कम्पोनेन्टहरू स्पटरिङ फिल्म तहमा मिसिने छैनन्। स्पटरिङ कोटिंगका बेफाइदाहरू यो हुन् कि फिल्म बनाउने गति वाष्पीकरण कोटिंगको भन्दा ढिलो हुन्छ, सब्सट्रेटको तापक्रम बढी हुन्छ, अशुद्धता ग्यासबाट प्रभावित हुन सजिलो हुन्छ, र उपकरणको संरचना बढी जटिल हुन्छ।

यो लेख ग्वाङडोङ झेन्हुआ द्वारा प्रकाशित गरिएको हो, जुन एक निर्माता होभ्याकुम कोटिंग उपकरण