अन्य कोटिंग प्रविधिहरूको तुलनामा, म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग निम्न सुविधाहरूद्वारा विशेषता हो: काम गर्ने प्यारामिटरहरूमा कोटिंग निक्षेप गति र मोटाईको ठूलो गतिशील समायोजन दायरा हुन्छ (लेपित क्षेत्रको अवस्था) सजिलै नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, र कोटिंगको एकरूपता सुनिश्चित गर्न म्याग्नेट्रोन लक्ष्यको ज्यामितिमा कुनै डिजाइन सीमा छैन; फिल्म तहमा थोपा कणहरूको कुनै समस्या छैन; लगभग सबै धातुहरू, मिश्र धातुहरू, र सिरेमिकहरू लक्षित सामग्रीहरूमा बनाउन सकिन्छ; र लक्ष्य सामग्री DC वा RF म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ द्वारा उत्पादन गर्न सकिन्छ, जसले सटीक अनुपातको साथ शुद्ध धातु वा मिश्र धातु कोटिंगहरू उत्पन्न गर्न सक्छ, साथै ग्यास सहभागिताको साथ धातु प्रतिक्रियाशील फिल्महरू। DC वा RF स्पटरिङ मार्फत, पातलो फिल्म विविधता र उच्च परिशुद्धताको आवश्यकताहरू पूरा गर्न सटीक र स्थिर अनुपातको साथ शुद्ध धातु वा मिश्र धातु कोटिंगहरू, साथै ग्यास सहभागिताको साथ धातु प्रतिक्रियाशील फिल्महरू उत्पन्न गर्न सम्भव छ। म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंगको लागि विशिष्ट प्रक्रिया प्यारामिटरहरू हुन्: ०.१Pa को काम गर्ने दबाब; ३०० ~ ७००V को लक्ष्य भोल्टेज; १ ~ ३६W/cm² को लक्ष्य पावर घनत्व।
म्याग्नेट्रोन स्पटरिङका विशिष्ट विशेषताहरू यस प्रकार छन्:
(१) उच्च निक्षेपण दर। म्याग्नेट्रोन इलेक्ट्रोडको प्रयोगको कारण, धेरै ठूलो लक्ष्य बमबारी आयन प्रवाह प्राप्त गर्न सकिन्छ, त्यसैले लक्ष्य सतहमा स्पटर एचिंग दर र सब्सट्रेट सतहमा फिल्म निक्षेपण दर दुवै धेरै उच्च छन्।
(२) उच्च शक्ति दक्षता। कम-ऊर्जा इलेक्ट्रोन र ग्यास परमाणुहरूको टक्कर सम्भावना उच्च छ, त्यसैले ग्यास विघटन दर धेरै बढेको छ। तदनुसार, डिस्चार्ज ग्यास (वा प्लाज्मा) को प्रतिबाधा धेरै कम भएको छ। त्यसकारण, DC द्विध्रुवीय स्पटरिंगको तुलनामा DC म्याग्नेट्रोन स्पटरिंग, काम गर्ने चाप १~१०Pa बाट १०-२१०-१Pa मा घटाइए पनि स्पटरिंग भोल्टेज हजारौं भोल्टबाट सयौं भोल्टमा घटाइन्छ, स्पटरिंग दक्षता र निक्षेप दर परिमाणको अर्डरद्वारा बढाइन्छ।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: डिसेम्बर-०१-२०२३