स्पटरिंग कोटिंग फिल्म्सची वैशिष्ट्ये

① फिल्म जाडीची चांगली नियंत्रणक्षमता आणि पुनरावृत्तीक्षमता

चित्रपटाची जाडी पूर्वनिर्धारित मूल्यावर नियंत्रित करता येते का याला चित्रपट जाडी नियंत्रणक्षमता म्हणतात. आवश्यक असलेली चित्रपट जाडी अनेक वेळा पुनरावृत्ती करता येते, ज्याला चित्रपट जाडी पुनरावृत्तीक्षमता म्हणतात. कारण व्हॅक्यूम स्पटरिंग कोटिंगचा डिस्चार्ज करंट आणि लक्ष्य करंट स्वतंत्रपणे नियंत्रित करता येतो. म्हणून, स्पटर केलेल्या चित्रपटाची जाडी नियंत्रित करण्यायोग्य असते आणि पूर्वनिर्धारित जाडी असलेली फिल्म विश्वसनीयरित्या जमा केली जाऊ शकते. याव्यतिरिक्त, स्पटर कोटिंग मोठ्या पृष्ठभागावर एकसमान जाडी असलेली फिल्म मिळवू शकते.

② फिल्म आणि सब्सट्रेटमध्ये मजबूत आसंजन

स्पटर केलेल्या अणूंची ऊर्जा बाष्पीभवन झालेल्या अणूंपेक्षा १-२ ऑर्डर जास्त असते. सब्सट्रेटवर जमा झालेल्या उच्च-ऊर्जा स्पटर केलेल्या अणूंचे ऊर्जा रूपांतरण बाष्पीभवन झालेल्या अणूंपेक्षा खूप जास्त असते, ज्यामुळे जास्त उष्णता निर्माण होते आणि स्पटर केलेल्या अणू आणि सब्सट्रेटमधील आसंजन वाढते. याव्यतिरिक्त, काही उच्च-ऊर्जा स्पटर केलेले अणू वेगवेगळ्या प्रमाणात इंजेक्शन तयार करतात, ज्यामुळे सब्सट्रेटवर स्यूडोडिफ्यूजन थर तयार होतो. याव्यतिरिक्त, फिल्म तयार करण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान सब्सट्रेट नेहमीच प्लाझ्मा प्रदेशात स्वच्छ आणि सक्रिय केला जातो, जो कमकुवत आसंजन असलेले स्पटरिंग अणू काढून टाकतो आणि सब्सट्रेट पृष्ठभाग शुद्ध आणि सक्रिय करतो. म्हणून, स्पटर केलेल्या फिल्मला सब्सट्रेटशी मजबूत आसंजन असते.

③ लक्ष्यापेक्षा वेगळी नवीन मटेरियल फिल्म तयार करता येते

जर स्पटरिंग दरम्यान रिअॅक्टिव्ह गॅस टाकला गेला जेणेकरून तो लक्ष्याशी प्रतिक्रिया देईल, तर लक्ष्यापेक्षा पूर्णपणे वेगळी एक नवीन मटेरियल फिल्म मिळू शकते. उदाहरणार्थ, सिलिकॉन स्पटरिंग टार्गेट म्हणून वापरली जाते आणि ऑक्सिजन आणि आर्गॉन व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये एकत्र ठेवले जातात. स्पटरिंगनंतर, SiOz इन्सुलेटिंग फिल्म मिळवता येते. स्पटरिंग टार्गेट म्हणून टायटॅनियमचा वापर करून, नायट्रोजन आणि आर्गॉन व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये एकत्र ठेवले जातात आणि स्पटरिंगनंतर फेज TiN सोन्यासारखी फिल्म मिळवता येते.

④ उच्च शुद्धता आणि चांगल्या दर्जाची फिल्म

स्पटरिंग फिल्म तयारी उपकरणात क्रूसिबल घटक नसल्यामुळे, क्रूसिबल हीटर मटेरियलचे घटक स्पटरिंग फिल्म लेयरमध्ये मिसळले जाणार नाहीत. स्पटरिंग कोटिंगचे तोटे म्हणजे फिल्म तयार होण्याची गती बाष्पीभवन कोटिंगपेक्षा कमी असते, सब्सट्रेट तापमान जास्त असते, अशुद्ध वायूमुळे ते सहजपणे प्रभावित होते आणि उपकरणाची रचना अधिक जटिल असते.

हा लेख ग्वांगडोंग झेनहुआ ​​या उत्पादकाने प्रकाशित केला आहे, जोव्हॅक्यूम कोटिंग उपकरणे