Бусад бүрэх технологитой харьцуулахад магнетрон цацах бүрэх нь дараахь шинж чанаруудаар тодорхойлогддог: ажлын параметрүүд нь бүрэх хурд, зузааныг (бүрсэн талбайн төлөв) динамик тохируулгын өргөн хүрээтэй, хялбархан хянах боломжтой бөгөөд бүрээсийн жигд байдлыг хангахын тулд магнетрон зорилтот геометрийн дизайны хязгаарлалт байхгүй; хальсан давхаргад дусал хэсгүүдийн асуудал байхгүй; бараг бүх металл, хайлш, керамикийг зорилтот материал болгон хийж болно; мөн зорилтот материалыг тогтмол гүйдлийн эсвэл RF-ийн магнетрон цацах замаар гаргаж авах боломжтой бөгөөд энэ нь нарийн харьцаатай цэвэр металл эсвэл хайлш бүрээс, түүнчлэн хийн оролцоотой металлын реактив хальс үүсгэдэг. Тогтмол гүйдэл эсвэл RF цацах замаар нарийн, тогтмол харьцаатай цэвэр металл эсвэл хайлшаар бүрэх, түүнчлэн хийн оролцоотой металлын реактив хальс үүсгэх боломжтой бөгөөд энэ нь нимгэн хальсны олон талт байдал, өндөр нарийвчлалын шаардлагыг хангадаг. Магнетрон цацах бүрэх процессын ердийн параметрүүд нь: ажлын даралт 0.1Па; зорилтот хүчдэл 300~700V; зорилтот эрчим хүчний нягтрал 1~36W/cm².
Магнетрон цацалтын онцлог шинж чанарууд нь:
(1) Хуримтлуулах өндөр түвшин. Магнетрон электродуудыг ашигласнаар зорилтот бөмбөгдөлтийн ионы гүйдлийг маш том гаргаж авах боломжтой тул зорилтот гадаргуу дээр цацруулагчийн сийлбэр, субстратын гадаргуу дээр хальсан тунадасны хурд хоёулаа маш өндөр байдаг.
(2) Эрчим хүчний өндөр үр ашиг. Бага энергитэй электрон ба хийн атомуудын мөргөлдөх магадлал өндөр тул хийн диссоциацийн хурд ихээхэн нэмэгддэг. Үүний дагуу гадагшлуулах хийн (эсвэл плазмын) эсэргүүцэл ихээхэн буурдаг. Тиймээс тогтмол гүйдлийн магнетрон цацалтыг тогтмол гүйдлийн диполь цацалттай харьцуулахад ажлын даралтыг 1 ~ 10 Па-аас 10-210-1 Па хүртэл бууруулсан ч хэдэн мянган вольтоос хэдэн зуун вольт хүртэл бууруулж, шүрших үр ашиг, тунадасжилтын хурдыг дарааллаар нь нэмэгдүүлнэ.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023-12-01