സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് ഫിലിമുകളുടെ സവിശേഷതകൾ

① ഫിലിം കനത്തിന്റെ നല്ല നിയന്ത്രണക്ഷമതയും ആവർത്തനക്ഷമതയും

മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച മൂല്യത്തിൽ ഫിലിം കനം നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയുമോ എന്നത് ഫിലിം കനം നിയന്ത്രണക്ഷമത എന്നാണ്. ആവശ്യമായ ഫിലിം കനം പലതവണ ആവർത്തിക്കാം, ഇതിനെ ഫിലിം കനം ആവർത്തനക്ഷമത എന്ന് വിളിക്കുന്നു. കാരണം വാക്വം സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ ഡിസ്ചാർജ് കറന്റും ടാർഗെറ്റ് കറന്റും വെവ്വേറെ നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും. അതിനാൽ, സ്പട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിമിന്റെ കനം നിയന്ത്രിക്കാവുന്നതാണ്, കൂടാതെ മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച കട്ടിയുള്ള ഫിലിം വിശ്വസനീയമായി നിക്ഷേപിക്കാൻ കഴിയും. കൂടാതെ, സ്പട്ടർ കോട്ടിംഗിന് ഒരു വലിയ പ്രതലത്തിൽ ഏകീകൃത കട്ടിയുള്ള ഒരു ഫിലിം ലഭിക്കും.

② ഫിലിമിനും അടിവസ്ത്രത്തിനും ഇടയിൽ ശക്തമായ അഡീഷൻ

സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളുടെ ഊർജ്ജം ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളെ അപേക്ഷിച്ച് 1-2 ഓർഡറുകൾ കൂടുതലാണ്. അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ചിരിക്കുന്ന ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങളുടെ ഊർജ്ജ പരിവർത്തനം ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്, ഇത് ഉയർന്ന താപം സൃഷ്ടിക്കുകയും സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങൾക്കും അടിവസ്ത്രത്തിനും ഇടയിലുള്ള അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. കൂടാതെ, ചില ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ആറ്റങ്ങൾ വ്യത്യസ്ത അളവിലുള്ള കുത്തിവയ്പ്പുകൾ ഉണ്ടാക്കുകയും, അടിവസ്ത്രത്തിൽ ഒരു സ്യൂഡോഡിഫ്യൂഷൻ പാളി രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു. കൂടാതെ, ഫിലിം രൂപീകരണ പ്രക്രിയയിൽ പ്ലാസ്മ മേഖലയിൽ സബ്സ്ട്രേറ്റ് എല്ലായ്പ്പോഴും വൃത്തിയാക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, ഇത് ദുർബലമായ അഡീഷനോടുകൂടിയ സ്പൂട്ടറിംഗ് ആറ്റങ്ങളെ നീക്കം ചെയ്യുകയും അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തെ ശുദ്ധീകരിക്കുകയും സജീവമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. അതിനാൽ, സ്പൂട്ടർ ചെയ്ത ഫിലിമിന് അടിവസ്ത്രത്തോട് ശക്തമായ അഡീഷൻ ഉണ്ട്.

③ ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായ പുതിയ മെറ്റീരിയൽ ഫിലിം തയ്യാറാക്കാം

സ്പട്ടറിംഗ് സമയത്ത് റിയാക്ടീവ് ഗ്യാസ് അവതരിപ്പിച്ച് ലക്ഷ്യവുമായി പ്രതിപ്രവർത്തിച്ചാൽ, ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് തികച്ചും വ്യത്യസ്തമായ ഒരു പുതിയ മെറ്റീരിയൽ ഫിലിം ലഭിക്കും. ഉദാഹരണത്തിന്, സിലിക്കൺ സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഓക്സിജനും ആർഗണും ഒരുമിച്ച് വാക്വം ചേമ്പറിൽ ഇടുന്നു. സ്പട്ടറിംഗ് കഴിഞ്ഞ്, SiOz ഇൻസുലേറ്റിംഗ് ഫിലിം ലഭിക്കും. സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യമായി ടൈറ്റാനിയം ഉപയോഗിച്ച്, നൈട്രജനും ആർഗണും ഒരുമിച്ച് വാക്വം ചേമ്പറിൽ ഇടുന്നു, സ്പട്ടറിംഗ് കഴിഞ്ഞ് ഘട്ടം TiN സ്വർണ്ണം പോലുള്ള ഫിലിം ലഭിക്കും.

④ ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും നല്ല നിലവാരമുള്ള ഫിലിമും

സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിം തയ്യാറാക്കൽ ഉപകരണത്തിൽ ക്രൂസിബിൾ ഘടകം ഇല്ലാത്തതിനാൽ, ക്രൂസിബിൾ ഹീറ്റർ മെറ്റീരിയലിന്റെ ഘടകങ്ങൾ സ്പട്ടറിംഗ് ഫിലിം പാളിയിൽ കലർത്തില്ല. സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ പോരായ്മകൾ, ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗിനെ അപേക്ഷിച്ച് ഫിലിം രൂപീകരണ വേഗത കുറവാണ്, അടിവസ്ത്ര താപനില കൂടുതലാണ്, അശുദ്ധ വാതകത്താൽ എളുപ്പത്തിൽ ബാധിക്കപ്പെടുന്നു, ഉപകരണ ഘടന കൂടുതൽ സങ്കീർണ്ണമാണ് എന്നതാണ്.

ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്, നിർമ്മാതാക്കളായ ഗ്വാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻ‌ഹുവയാണ്.വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ