മറ്റ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ സവിശേഷത ഇനിപ്പറയുന്ന സവിശേഷതകളാണ്: പ്രവർത്തന പാരാമീറ്ററുകൾക്ക് കോട്ടിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ വേഗതയുടെയും കനത്തിന്റെയും വലിയ ഡൈനാമിക് അഡ്ജസ്റ്റ്മെന്റ് ശ്രേണിയുണ്ട് (പൂശിയ പ്രദേശത്തിന്റെ അവസ്ഥ) എളുപ്പത്തിൽ നിയന്ത്രിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ കോട്ടിംഗിന്റെ ഏകത ഉറപ്പാക്കാൻ മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റിന്റെ ജ്യാമിതിയിൽ ഒരു ഡിസൈൻ പരിമിതിയും ഇല്ല; ഫിലിം ലെയറിൽ തുള്ളി കണങ്ങളുടെ പ്രശ്നമില്ല; മിക്കവാറും എല്ലാ ലോഹങ്ങൾ, അലോയ്കൾ, സെറാമിക്സ് എന്നിവ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളാക്കി മാറ്റാം; കൃത്യമായ അനുപാതത്തിൽ ശുദ്ധമായ ലോഹമോ അലോയ് കോട്ടിംഗുകളോ ഗ്യാസ് പങ്കാളിത്തമുള്ള ലോഹ റിയാക്ടീവ് ഫിലിമുകളോ സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയുന്ന DC അല്ലെങ്കിൽ RF മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് വഴി ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ നിർമ്മിക്കാൻ കഴിയും. DC അല്ലെങ്കിൽ RF സ്പട്ടറിംഗ് വഴി, നേർത്ത ഫിലിം വൈവിധ്യത്തിന്റെയും ഉയർന്ന കൃത്യതയുടെയും ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിന് കൃത്യവും സ്ഥിരവുമായ അനുപാതങ്ങളുള്ള ശുദ്ധമായ ലോഹമോ അലോയ് കോട്ടിംഗുകളും ഗ്യാസ് പങ്കാളിത്തമുള്ള ലോഹ റിയാക്ടീവ് ഫിലിമുകളും സൃഷ്ടിക്കാൻ കഴിയും. മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിനുള്ള സാധാരണ പ്രോസസ്സ് പാരാമീറ്ററുകൾ ഇവയാണ്: 0.1Pa ന്റെ പ്രവർത്തന സമ്മർദ്ദം; 300~700V ന്റെ ടാർഗെറ്റ് വോൾട്ടേജ്; 1~36W/cm² ന്റെ ടാർഗെറ്റ് പവർ സാന്ദ്രത.
മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ പ്രത്യേക സവിശേഷതകൾ ഇവയാണ്:
(1) ഉയർന്ന നിക്ഷേപ നിരക്ക്. മാഗ്നെട്രോൺ ഇലക്ട്രോഡുകളുടെ ഉപയോഗം കാരണം, വളരെ വലിയ ലക്ഷ്യ ബോംബാർഡ്മെന്റ് അയോൺ വൈദ്യുതധാര ലഭിക്കും, അതിനാൽ ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിലെ സ്പട്ടർ എച്ചിംഗ് നിരക്കും അടിവസ്ത്ര പ്രതലത്തിലെ ഫിലിം നിക്ഷേപ നിരക്കും വളരെ ഉയർന്നതാണ്.
(2) ഉയർന്ന ഊർജ്ജക്ഷമത. താഴ്ന്ന ഊർജ്ജ ഇലക്ട്രോണുകളുടെയും വാതക ആറ്റങ്ങളുടെയും കൂട്ടിയിടി സാധ്യത കൂടുതലാണ്, അതിനാൽ വാതക വിഘടന നിരക്ക് വളരെയധികം വർദ്ധിക്കുന്നു. അതനുസരിച്ച്, ഡിസ്ചാർജ് വാതകത്തിന്റെ (അല്ലെങ്കിൽ പ്ലാസ്മയുടെ) പ്രതിരോധം വളരെയധികം കുറയുന്നു. അതിനാൽ, DC ദ്വിധ്രുവ സ്പട്ടറിംഗുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ DC മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്, പ്രവർത്തന മർദ്ദം 1~10Pa ൽ നിന്ന് 10-210-1Pa ആയി കുറച്ചാലും സ്പട്ടറിംഗ് വോൾട്ടേജ് ആയിരക്കണക്കിന് വോൾട്ടുകളിൽ നിന്ന് നൂറുകണക്കിന് വോൾട്ടുകളായി കുറയുന്നു, സ്പട്ടറിംഗ് കാര്യക്ഷമതയും നിക്ഷേപ നിരക്കും ക്രമാനുഗതമായി വർദ്ധിക്കുന്നു.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: ഡിസംബർ-01-2023