Ka whakatauritea ki etahi atu hangarau whakakikorua, ko te whakakikorua o te magnetron sputtering e tohuhia ana e nga ahuatanga e whai ake nei: ko nga tawhā mahi he nui te whakarereketanga hihiri o te tere o te whakakikorua me te matotoru (te ahua o te waahi kua pania) ka taea te whakahaere ngawari, kaore he herenga hoahoa i runga i te ahuahanga o te whaainga magnetron hei whakarite i te riterite o te paninga; kaore he raruraru o nga matūriki maturuturu i te paparanga kiriata; tata katoa nga konganuku, nga koranu, me nga karamu ka taea te hanga ki nga taonga kua whakaritea; a ka taea te hanga i nga mea i whaaia e te DC, te RF magnetron sputtering ranei, ka taea te whakaputa i te whakarewa parakore, i nga whakakikorua koranu ranei me te owehenga tika, me nga kiriata hohenga whakarewa me te whakauru hau. Na roto i te DC, te RF sputtering ranei, ka taea te whakaputa i te whakarewa parakore, i nga whakakikorua koranu ranei me nga owehenga tika me te rite tonu, me nga kiriata hohenga whakarewa me te whakauru hau, ki te whakatutuki i nga whakaritenga o te rereketanga o te kiriata angiangi me te tino tika. Ko nga tawhā tukanga angamaheni mo te whakakikorua o te magnetron sputtering ko: te pehanga mahi o 0.1Pa; ngaohiko ūnga o 300 ~ 700V; te kiato mana o te 1~36W/cm².
Ko nga ahuatanga motuhake o te magnetron sputtering ko:
(1) Te tere o te tukunga. Na te whakamahi i nga electrodes magnetron, ka taea te whiwhi i te katote katote poma nui rawa atu, no reira he tiketike rawa te reiti etching sputter i runga i te mata whainga me te reiti waipara kiriata i runga i te mata tïpako.
(2) Te kaha kaha o te kaha. He nui te tukinga o nga irahiko iti-kaha me nga ngota hau, no reira ka tino piki ake te reiti wehenga hau. Na reira, ka tino whakahekehia te aukati o te hau tuku (te plasma ranei). Na reira, DC magnetron sputtering whakaritea ki DC dipole sputtering, ahakoa ka heke te pehanga mahi mai i te 1~10Pa ki te 10-210-1Pa te ngaohiko sputtering ka whakahekehia ano mai i nga mano o nga volts ki nga rau o nga volts, ka piki ake te kaha o te pupuhi me te tere o te whakaheke i nga whakahau o te nui.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Tihema-01-2023