Raha ampitahaina amin'ny teknolojia coating hafa, magnetron sputtering coating dia miavaka amin'ny endri-javatra manaraka ireto: ny miasa masontsivana manana lehibe mavitrika fanitsiana isan-karazany ny coating Deposition hafainganam-pandeha sy ny hateviny (ny toetry ny coated faritra) azo fehezina mora foana, ary tsy misy famolavolana fetra amin'ny jeometrika ny magnetron kendrena mba hahazoana antoka ny fitovian'ny coating; tsy misy olana amin'ny poti-tetezana ao amin'ny sosona sarimihetsika; saika ny metaly, ny firaka ary ny seramika rehetra dia azo atao fitaovana kendrena; ary ny fitaovana kendrena dia azo vokarina avy amin'ny DC na RF magnetron sputtering, izay afaka miteraka metaly madio na firaka coatings amin'ny tahan'ny marina, ary koa ny metaly mihetsika sarimihetsika amin'ny entona fandraisana anjara. Amin'ny alalan'ny DC na RF sputtering, dia azo atao ny mamokatra metaly madio na firaka coatings amin'ny marina sy tsy tapaka ny tahan'ny, ary koa ny metaly mihetsika sarimihetsika miaraka amin'ny entona fandraisana anjara, mba mahafeno ny fepetra takiana amin'ny filma manify isan-karazany sy ny mazava tsara. Ny dingana mahazatra masontsivana ho an'ny magnetron sputtering coating dia: miasa tsindry ny 0.1Pa; kendrena malefaka ny 300 ~ 700V; kendrena hery hakitroky ny 1 ~ 36W/cm².
Ny endri-javatra manokana amin'ny magnetron sputtering dia:
(1) Ny tahan'ny fametrahana avo. Noho ny fampiasana ny magnetron electrodes, tena lehibe kendrena baomba ion amin'izao fotoana izao azo azo, ka ny sputter etching tahan'ny eo amin'ny kendrena ambonin'ny sy ny sarimihetsika deposition tahan'ny eo amin'ny substrate ambonin'ny dia samy tena avo.
(2) Fahombiazana mahery vaika. Ny mety hisian'ny fifandonan'ny elektrôna ambany angovo sy ny atoma entona dia avo, noho izany dia mitombo be ny tahan'ny fisarahan'ny entona. Noho izany dia mihena be ny impedance ny entona mivoaka (na plasma). Noho izany, DC magnetron sputtering raha oharina amin'ny DC dipole sputtering, na dia ny miasa fanerena dia nihena avy amin'ny 1 ~ 10Pa ny 10-210-1Pa sputtering malefaka dia nihena ihany koa avy amin'ny an'arivony volts ho an-jatony volts, sputtering fahombiazana sy ny tahan'ny deposition dia nitombo ny baiko ny halehiben'ny.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Dec-01-2023