Salīdzinot ar citām pārklāšanas tehnoloģijām, magnetrona izsmidzināšanas pārklāšanai ir raksturīgas šādas īpašības: darba parametriem ir liels dinamiskās regulēšanas diapazons, pārklājuma uzklāšanas ātrums un biezums (pārklātā laukuma stāvoklis) ir viegli kontrolējams, un nav nekādu konstrukcijas ierobežojumu attiecībā uz magnetrona mērķa ģeometriju, lai nodrošinātu pārklājuma vienmērīgumu; nav problēmu ar pilienu daļiņām plēves slānī; gandrīz visus metālus, sakausējumus un keramiku var pārveidot par mērķa materiāliem; un mērķa materiālu var ražot ar līdzstrāvas vai radiofrekvences magnetrona izsmidzināšanu, kas var radīt tīrus metāla vai sakausējuma pārklājumus ar precīzu attiecību, kā arī metāla reaģējošas plēves ar gāzes piedalīšanos. Izmantojot līdzstrāvas vai radiofrekvences izsmidzināšanu, ir iespējams radīt tīrus metāla vai sakausējuma pārklājumus ar precīzām un nemainīgām attiecībām, kā arī metāla reaģējošas plēves ar gāzes piedalīšanos, lai izpildītu plāno kārtiņu daudzveidības un augstas precizitātes prasības. Tipiski magnetrona izsmidzināšanas pārklāšanas procesa parametri ir: darba spiediens 0,1 Pa; mērķa spriegums 300–700 V; mērķa jaudas blīvums 1–36 W/cm².
Magnetrona izsmidzināšanas īpatnības ir:
(1) Augsts nogulsnēšanās ātrums. Pateicoties magnetrona elektrodu izmantošanai, var iegūt ļoti lielu mērķa bombardēšanas jonu strāvu, tāpēc gan izsmidzināšanas kodināšanas ātrums uz mērķa virsmas, gan plēves nogulsnēšanās ātrums uz substrāta virsmas ir ļoti augsts.
(2) Augsta jaudas efektivitāte. Zemas enerģijas elektronu un gāzes atomu sadursmes varbūtība ir augsta, tāpēc gāzes disociācijas ātrums ievērojami palielinās. Attiecīgi izlādes gāzes (vai plazmas) pretestība ir ievērojami samazināta. Tādēļ līdzstrāvas magnetrona izsmidzināšana salīdzinājumā ar līdzstrāvas dipola izsmidzināšanu, pat ja darba spiediens tiek samazināts no 1 ~ 10 Pa līdz 10-210-1Pa, izsmidzināšanas spriegums samazinās no tūkstošiem voltu līdz simtiem voltu, izsmidzināšanas efektivitāte un nogulsnēšanās ātrums palielinās par lieluma pakāpēm.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 1. decembris