1. Geras plėvelės storio valdymas ir pakartojamumas
Tai, ar plėvelės storį galima kontroliuoti ties iš anksto nustatyta verte, vadinama plėvelės storio kontroliuojamumu. Reikalingą plėvelės storį galima pakartoti daug kartų, o tai vadinama plėvelės storio pakartojamumu. Kadangi vakuuminio purškimo būdu padengiamos dangos išlydžio srovę ir tikslinę srovę galima valdyti atskirai, purškiamos plėvelės storis yra kontroliuojamas ir galima patikimai nusodinti nustatyto storio plėvelę. Be to, purškiant galima gauti vienodo storio plėvelę dideliame paviršiuje.
② Stiprus sukibimas tarp plėvelės ir pagrindo
Purškiamų atomų energija yra 1–2 dydžio eilėmis didesnė nei išgarintų atomų. Didelės energijos purškiamų atomų, nusodintų ant pagrindo, energijos konversija yra daug didesnė nei išgarintų atomų, todėl susidaro didesnė šiluma ir pagerėja sukibimas tarp purškiamų atomų ir pagrindo. Be to, kai kurie didelės energijos purkšti atomai sukuria skirtingą įpurškimo laipsnį, sudarydami pseudodifuzinį sluoksnį ant pagrindo. Be to, plėvelės formavimo proceso metu pagrindas visada yra valomas ir aktyvuojamas plazmos srityje, o tai pašalina silpnai sukibusius purkštančius atomus ir išvalo bei aktyvuoja pagrindo paviršių. Todėl purkšta plėvelė turi stiprų sukibimą su pagrindu.
③ Galima paruošti naują medžiagos plėvelę, kuri skiriasi nuo tikslinės
Jei purškimo metu įterpiamos reaktyviosios dujos, kurios priverčia jas reaguoti su taikiniu, galima gauti naują medžiagos plėvelę, visiškai skirtingą nuo taikinio. Pavyzdžiui, kaip purškimo taikinys naudojamas silicis, o deguonis ir argonas kartu įleidžiami į vakuuminę kamerą. Po purškimo galima gauti SiOz izoliacinę plėvelę. Naudojant titaną kaip purškimo taikinį, azotas ir argonas kartu įleidžiami į vakuuminę kamerą, ir po purškimo galima gauti TiN fazės aukso pavidalo plėvelę.
4. Didelis grynumas ir gera plėvelės kokybė
Kadangi purškimo plėvelės paruošimo įrenginyje nėra tiglio komponento, tiglio šildytuvo medžiagos komponentai nebus sumaišyti purškimo plėvelės sluoksnyje. Purškimo dangos trūkumai yra tai, kad plėvelės formavimo greitis yra lėtesnis nei garinimo dangos, pagrindo temperatūra yra aukštesnė, ją lengva paveikti priemaišų dujomis, o įrenginio struktūra yra sudėtingesnė.
Šį straipsnį paskelbė „Guangdong Zhenhua“, gaminanti...vakuuminio dengimo įranga
Įrašo laikas: 2023 m. kovo 9 d.