Lyginant su kitomis dengimo technologijomis, magnetroninio purškimo danga pasižymi šiomis savybėmis: darbiniai parametrai turi didelį dinaminį dangos nusodinimo greičio ir storio (dengiamo ploto būklės) reguliavimo diapazoną, kurį galima lengvai valdyti, ir nėra jokių magnetroninio taikinio geometrijos konstrukcijos apribojimų, siekiant užtikrinti dangos vienodumą; nėra lašelių dalelių problemos plėvelės sluoksnyje; beveik visi metalai, lydiniai ir keramika gali būti pagaminti kaip taikinio medžiagos; o taikinio medžiaga gali būti gaminama nuolatinės arba radijo dažnio magnetroninio purškimo būdu, kuris gali sukurti gryno metalo arba lydinio dangas su tiksliu santykiu, taip pat metalo reaktyviąsias plėveles su dujų dalyvavimu. Taikant nuolatinę arba radijo dažnio purškimą, galima sukurti gryno metalo arba lydinio dangas su tiksliais ir pastoviais santykiais, taip pat metalo reaktyviąsias plėveles su dujų dalyvavimu, kad būtų patenkinti plonų plėvelių įvairovės ir didelio tikslumo reikalavimai. Tipiniai magnetroninio purškimo proceso parametrai yra: darbinis slėgis 0,1 Pa; taikinio įtampa 300–700 V; taikinio galios tankis 1–36 W/cm².
Magnetroninio purškimo ypatybės yra šios:
(1) Didelis nusodinimo greitis. Dėl magnetroninių elektrodų naudojimo galima gauti labai didelę taikinio bombardavimo jonų srovę, todėl tiek purškimo ėsdinimo greitis taikinio paviršiuje, tiek plėvelės nusodinimo greitis ant pagrindo paviršiaus yra labai didelis.
(2) Didelis energijos vartojimo efektyvumas. Mažos energijos elektronų ir dujų atomų susidūrimo tikimybė yra didelė, todėl dujų disociacijos greitis labai padidėja. Atitinkamai, išlydžio dujų (arba plazmos) varža labai sumažėja. Todėl, palyginti su nuolatinės srovės magnetroniniu purškimu, net jei darbinis slėgis sumažinamas nuo 1–10 Pa iki 10–210–1 Pa, purškimo įtampa taip pat sumažėja nuo tūkstančių iki šimtų voltų, o purškimo efektyvumas ir nusodinimo greitis padidėja keliais dydžio eilėmis.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 1 d.