Башка каптоо технологиялары менен салыштырганда, магнетронду чачыратуу каптоо төмөнкүдөй өзгөчөлүктөр менен мүнөздөлөт: жумушчу параметрлери каптоо ылдамдыгын жана калыңдыгын (капталган аймактын абалын) оңой башкарууга болот динамикалык жөнгө салуу диапазонуна ээ жана каптаманын бирдейлигин камсыз кылуу үчүн магнетрондун бутанын геометриясында долбоорлоо боюнча чектөөлөр жок; пленка катмарында тамчы бөлүкчөлөрүнүн көйгөйү жок; дээрлик бардык металлдар, эритмелер жана керамика максаттуу материалдарды жасоого болот; жана максаттуу материал так катышы менен таза металл же эритме жабууларды, ошондой эле газдын катышуусу менен металл реактивдүү пленкаларды түзө турган DC же RF магнетрондук чачыратуу менен өндүрүлүшү мүмкүн. DC же RF чачыратуу аркылуу, ал так жана туруктуу катышы менен таза металл же эритме жабууларды, ошондой эле газдын катышуусу менен металл реактивдүү пленкаларды, жука пленканын ар түрдүүлүгүнүн жана жогорку тактыктын талаптарына жооп бериши мүмкүн. Магнетрондук чачыранды каптоо үчүн процесстин типтүү параметрлери: 0,1Па жумушчу басымы; максаттуу чыңалуу 300~700V; максаттуу кубаттуулук тыгыздыгы 1~36W/cm².
Магнетрондук чачыратуу өзгөчөлүктөр болуп төмөнкүлөр саналат:
(1) Депозиттин жогорку деңгээли. Магнетрондук электроддорду колдонуунун аркасында абдан чоң максаттуу бомбалоочу ион агымын алууга болот, андыктан максаттуу беттеги чачыранды тазалоо ылдамдыгы жана субстраттын бетине пленка коюу ылдамдыгы абдан жогору.
(2) Жогорку энергия натыйжалуулугу. Төмөн энергиялуу электрондор менен газ атомдорунун кагылышуу ыктымалдыгы жогору, ошондуктан газдын диссоциациялануу ылдамдыгы абдан жогорулайт. Демек, разряд газынын (же плазманын) импедансы абдан азаят. Ошондуктан, DC диполдук чачыратуу менен салыштырганда DC магнетрон чачыратуу, жумушчу басымы 1 ~ 10Падан 10-210-1Па чейин төмөндөтүлгөн күндө да, чачыратуу чыңалуусу миңдеген вольттон жүздөгөн вольтко чейин төмөндөйт, чачыратуу эффективдүүлүгү жана тунма ылдамдыгы чоңдуктун буйругу менен жогорулайт.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2023-жылдын 1-декабрына чейин