① Kontrolkirin û dubarekirina baş a qalindahiya fîlmê
Kontrolkirina qalindahiya fîlmê li nirxek diyarkirî an na, jê re kontrolkirina qalindahiya fîlmê tê gotin. Qalindahiya fîlmê ya pêwîst dikare gelek caran were dubarekirin, ku jê re dubarekirina qalindahiya fîlmê tê gotin. Ji ber ku herika dakêşanê û herika hedef a pêçandina valahiyê dikarin bi hev ve werin kontrol kirin. Ji ber vê yekê, qalindahiya fîlma pêçayî dikare were kontrol kirin, û fîlma bi qalindahiya diyarkirî dikare bi pêbawerî were danîn. Wekî din, pêçandina pêçandinê dikare fîlmek bi qalindahiya yekreng li ser rûyek mezin bi dest bixe.
② Pêwendiya bihêz di navbera fîlm û substratê de
Enerjiya atomên sputterkirî 1-2 rêzên mezinahî ji ya atomên buharbûyî bilindtir e. Veguherîna enerjiyê ya atomên sputterkirî yên enerjiya bilind ên li ser substratê hatine danîn ji ya atomên buharbûyî pir zêdetir e, ku germahiyek bilindtir çêdike û girêdana di navbera atomên sputterkirî û substratê de zêde dike. Wekî din, hin atomên sputterkirî yên enerjiya bilind pileyên cûda yên derzîkirinê çêdikin, çînek pseudodifûzyonê li ser substratê çêdikin. Wekî din, substrat her gav di dema pêvajoya çêkirina fîlmê de di herêma plazmayê de tê paqijkirin û çalakkirin, ku atomên sputterkirî yên bi girêdana qels radike, û rûyê substratê paqij dike û çalak dike. Ji ber vê yekê, fîlma sputterkirî girêdanek xurt bi substratê re heye.
③ Fîlmek materyalê nû ya ji hedefê cuda dikare were amadekirin
Eger di dema sputterkirinê de gaza reaktîf were bikaranîn da ku bi hedefê re reaksiyonê bike, fîlmek materyalê nû ya bi tevahî ji hedefê cuda dikare were bidestxistin. Bo nimûne, silîkon wekî hedefa sputterkirinê tê bikar anîn, û oksîjen û argon bi hev re têne danîn nav odeya valahiyê. Piştî sputterkirinê, fîlma îzolekirinê ya SiOz dikare were bidestxistin. Bi karanîna tîtanê wekî hedefa sputterkirinê, nîtrojen û argon bi hev re têne danîn nav odeya valahiyê, û fîlma zêr a qonaxa TiN piştî sputterkirinê dikare were bidestxistin.
④ Paqijiya bilind û kalîteya baş a fîlmê
Ji ber ku di cîhaza amadekirina fîlma sputterkirinê de pêkhateyeke xaçerê tune ye, pêkhateyên materyalê germkerê xaçerê di qata fîlma sputterkirinê de nayên tevlihevkirin. Dezavantajên pêçandina sputterkirinê ev in ku leza çêkirina fîlmê ji ya pêçandina buharkirinê hêdîtir e, germahiya substratê bilindtir e, bi hêsanî ji hêla gaza nepakiyê ve bandor dibe, û avahiya cîhazê tevlihevtir e.
Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua, hilberînerê ve hatî weşandinalavên boyaxkirina valahiyê
Dema şandinê: Adar-09-2023