① 필름 두께의 제어성 및 반복성이 우수하다
박막 두께를 미리 정해진 값으로 제어할 수 있는지를 박막 두께 제어성이라고 합니다. 필요한 박막 두께를 여러 번 반복할 수 있으며, 이를 박막 두께 반복성이라고 합니다. 진공 스퍼터링 코팅의 방전 전류와 타겟 전류를 개별적으로 제어할 수 있기 때문입니다. 따라서 스퍼터링된 박막의 두께를 제어할 수 있으며, 미리 정해진 두께의 박막을 안정적으로 증착할 수 있습니다. 또한, 스퍼터링 코팅은 넓은 표면에 균일한 두께의 박막을 얻을 수 있습니다.
② 필름과 기판의 강한 접착력
스퍼터링된 원자의 에너지는 증발된 원자의 에너지보다 1~2배 더 높습니다. 기판에 증착된 고에너지 스퍼터링 원자의 에너지 변환은 증발된 원자의 에너지 변환보다 훨씬 높아, 더 높은 열을 발생시키고 스퍼터링된 원자와 기판 사이의 접착력을 향상시킵니다. 또한, 일부 고에너지 스퍼터링 원자는 서로 다른 주입 정도를 생성하여 기판에 의사 확산층을 형성합니다. 또한, 박막 형성 공정 중 기판은 항상 플라즈마 영역에서 세정 및 활성화되어 접착력이 약한 스퍼터링 원자를 제거하고 기판 표면을 정화 및 활성화합니다. 따라서 스퍼터링된 박막은 기판에 대한 접착력이 강합니다.
③ 목표와 다른 새로운 소재의 필름을 제작할 수 있다
스퍼터링 중에 반응성 가스를 주입하여 타겟과 반응시키면 타겟과는 완전히 다른 새로운 물질막을 얻을 수 있습니다. 예를 들어, 실리콘을 스퍼터링 타겟으로 사용하고 산소와 아르곤을 진공 챔버에 함께 넣습니다. 스퍼터링 후 SiOz 절연막을 얻을 수 있습니다. 티타늄을 스퍼터링 타겟으로 사용하고 질소와 아르곤을 진공 챔버에 함께 넣으면 스퍼터링 후 TiN 금 유사막을 얻을 수 있습니다.
④ 필름의 순도가 높고 품질이 좋다
스퍼터링 박막 형성 장치에는 도가니 구성 요소가 없으므로 도가니 히터 재료의 구성 요소가 스퍼터링 박막층에 섞이지 않습니다. 스퍼터링 코팅의 단점은 증착 코팅보다 박막 형성 속도가 느리고, 기판 온도가 높으며, 불순물 가스의 영향을 받기 쉽고, 장치 구조가 복잡하다는 것입니다.
본 기사는 광동진화(Guangdong Zhenhua)에서 발행한 기사입니다.진공 코팅 장비
게시 시간: 2023년 3월 9일