ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಚಿತ್ರಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು

① ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ಉತ್ತಮ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಪುನರಾವರ್ತನೀಯತೆ

ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಮೌಲ್ಯದಲ್ಲಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದೇ ಎಂಬುದನ್ನು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ ನಿಯಂತ್ರಣ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ಹಲವು ಬಾರಿ ಪುನರಾವರ್ತಿಸಬಹುದು, ಇದನ್ನು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪ ಪುನರಾವರ್ತನೆ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ. ಏಕೆಂದರೆ ನಿರ್ವಾತ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಕರೆಂಟ್ ಮತ್ತು ಗುರಿ ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಸ್ಪಟ್ಟರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ದಪ್ಪವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ದಪ್ಪವಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹವಾಗಿ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಸ್ಪಟ್ಟರ್ ಲೇಪನವು ದೊಡ್ಡ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ದಪ್ಪವಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.

② ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವೆ ಬಲವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆ

ಸ್ಫಟರ್ಡ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ಶಕ್ತಿಯು ಆವಿಯಾದ ಪರಮಾಣುಗಳಿಗಿಂತ 1-2 ಆರ್ಡರ್‌ಗಳಷ್ಟು ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ. ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಸ್ಫಟರ್ಡ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ಶಕ್ತಿಯ ಪರಿವರ್ತನೆಯು ಆವಿಯಾದ ಪರಮಾಣುಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನದಾಗಿದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟರ್ಡ್ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಕೆಲವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಸ್ಫಟರ್ಡ್ ಪರಮಾಣುಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಹಂತದ ಇಂಜೆಕ್ಷನ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ, ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸೂಡೊಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಯಾವಾಗಲೂ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ದುರ್ಬಲ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ ಸ್ಫಟರ್ಡ್ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಶುದ್ಧೀಕರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಸ್ಫಟರ್ಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಬಲವಾದ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ.

③ ಗುರಿಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾದ ಹೊಸ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು

ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಅನಿಲವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಿದರೆ, ಗುರಿಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುವಂತೆ ಮಾಡಿದರೆ, ಗುರಿಯಿಂದ ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಭಿನ್ನವಾದ ಹೊಸ ವಸ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಅನ್ನು ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಒಟ್ಟಿಗೆ ಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ನಂತರ, SiOz ನಿರೋಧಕ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು. ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯಾಗಿ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅನ್ನು ಬಳಸಿ, ಸಾರಜನಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಒಟ್ಟಿಗೆ ಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ನಂತರ ಹಂತ TiN ಚಿನ್ನದಂತಹ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು.

④ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಚಿತ್ರ

ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್ ತಯಾರಿ ಸಾಧನದಲ್ಲಿ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಘಟಕವಿಲ್ಲದ ಕಾರಣ, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಹೀಟರ್ ವಸ್ತುವಿನ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದಲ್ಲಿ ಮಿಶ್ರಣ ಮಾಡಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ಅನಾನುಕೂಲಗಳೆಂದರೆ ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯ ವೇಗವು ಆವಿಯಾಗುವಿಕೆ ಲೇಪನಕ್ಕಿಂತ ನಿಧಾನವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ತಲಾಧಾರದ ತಾಪಮಾನ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಅಶುದ್ಧ ಅನಿಲದಿಂದ ಸುಲಭವಾಗಿ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಾಧನದ ರಚನೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ತಯಾರಕರಾದ ಗುವಾಂಗ್‌ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್‌ಹುವಾ ಪ್ರಕಟಿಸಿದ್ದಾರೆನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಉಪಕರಣಗಳು