Басқа жабу технологияларымен салыстырғанда, магнетронды шашыратқыш жабын келесі ерекшеліктермен сипатталады: жұмыс параметрлері жабынның тұндыру жылдамдығы мен қалыңдығын (жабылған аймақтың күйін) оңай басқаруға болатын динамикалық реттеу диапазонына ие және жабынның біркелкілігін қамтамасыз ету үшін магнетрон нысанасының геометриясына жобалық шектеулер жоқ; пленка қабатында тамшы бөлшектерінің проблемасы жоқ; барлық дерлік металдар, қорытпалар және керамика мақсатты материалдар жасауға болады; және мақсатты материалды дәл арақатынасы бар таза металды немесе қорытпа жабындарын, сондай-ақ газ қатысуымен металл реактивті пленкаларды құра алатын тұрақты ток немесе RF магнетронды шашырату арқылы алуға болады. Тұрақты ток немесе РЖ шашырату арқылы жұқа қабықтың әртүрлілігі мен жоғары дәлдік талаптарын қанағаттандыру үшін дәл және тұрақты қатынасы бар таза металды немесе қорытпа жабындарын, сондай-ақ газ қатысуымен металл реактивті қабықшаларды жасауға болады. Магнетронды шашыратқыш жабынға арналған технологиялық процестің типтік параметрлері: жұмыс қысымы 0,1Па; мақсатты кернеу 300~700В; мақсатты қуат тығыздығы 1~36Вт/см².
Магнетронды шашыратудың ерекше ерекшеліктері:
(1) Тұндыру жылдамдығы жоғары. Магнетрондық электродтарды қолданудың арқасында өте үлкен мақсатты бомбалау иондық тогын алуға болады, сондықтан нысана бетіндегі шашыратқышты өңдеу жылдамдығы және субстрат бетіндегі пленканың тұндыру жылдамдығы өте жоғары.
(2) Жоғары қуат тиімділігі. Төмен энергиялы электрондар мен газ атомдарының соқтығысу ықтималдығы жоғары, сондықтан газдың диссоциациялану жылдамдығы айтарлықтай артады. Сәйкесінше, разрядтық газдың (немесе плазманың) кедергісі айтарлықтай төмендейді. Демек, тұрақты токтың магнетронды шашырауы тұрақты дипольді шашыратумен салыстырғанда, жұмыс қысымы 1~10Па-дан 10-210-1Па-ға дейін төмендетілген жағдайда да шашырау кернеуі мыңдаған вольттан жүздеген вольтке дейін төмендесе де, шашырату тиімділігі мен тұндыру жылдамдығы шама бойынша артады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 01 желтоқсан 2023 ж