სხვა საფარის ტექნოლოგიებთან შედარებით, მაგნეტრონული გაფრქვევით დაფარვას ახასიათებს შემდეგი მახასიათებლები: სამუშაო პარამეტრებს აქვთ საფარის დადების სიჩქარისა და სისქის (დაფარული ფართობის მდგომარეობის) ფართო დინამიური რეგულირების დიაპაზონი, რომლის კონტროლიც მარტივად შეიძლება და არ არსებობს დიზაინის შეზღუდვა მაგნეტრონული სამიზნის გეომეტრიაზე საფარის ერთგვაროვნების უზრუნველსაყოფად; არ არსებობს წვეთოვანი ნაწილაკების პრობლემა ფირის ფენაში; თითქმის ყველა ლითონის, შენადნობისა და კერამიკისგან შეიძლება დამზადდეს სამიზნე მასალად; და სამიზნე მასალის წარმოება შესაძლებელია DC ან RF მაგნეტრონული გაფრქვევით, რომლის საშუალებითაც შესაძლებელია სუფთა ლითონის ან შენადნობის საფარის წარმოქმნა ზუსტი თანაფარდობით, ასევე ლითონის რეაქტიული ფირების წარმოქმნა გაზის მონაწილეობით. DC ან RF გაფრქვევით შესაძლებელია სუფთა ლითონის ან შენადნობის საფარის წარმოქმნა ზუსტი და მუდმივი თანაფარდობით, ასევე ლითონის რეაქტიული ფირების წარმოქმნა გაზის მონაწილეობით, თხელი ფირის მრავალფეროვნებისა და მაღალი სიზუსტის მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად. მაგნეტრონული გაფრქვევით დაფარვის ტიპიური პროცესის პარამეტრებია: 0.1Pa სამუშაო წნევა; 300~700V სამიზნე ძაბვა; 1~36W/cm² სამიზნე სიმძლავრის სიმკვრივე.
მაგნეტრონული გაფრქვევის სპეციფიკური მახასიათებლებია:
(1) მაღალი დეპონირების სიჩქარე. მაგნეტრონული ელექტროდების გამოყენების გამო, შესაძლებელია სამიზნის დაბომბვის იონური დენის ძალიან დიდი რაოდენობით მიღება, ამიტომ სამიზნის ზედაპირზე გაფრქვევის სიჩქარე და სუბსტრატის ზედაპირზე ფირის დეპონირების სიჩქარე ორივე ძალიან მაღალია.
(2) მაღალი ენერგოეფექტურობა. დაბალი ენერგიის ელექტრონებისა და აირის ატომების შეჯახების ალბათობა მაღალია, ამიტომ აირის დისოციაციის სიჩქარე მნიშვნელოვნად იზრდება. შესაბამისად, განმუხტვის აირის (ან პლაზმის) წინაღობა მნიშვნელოვნად მცირდება. ამიტომ, დენის მაგნეტრონული გაფრქვევით, დენის დიპოლური გაფრქვევით, დენის მაგნეტრონული გაფრქვევით, მაშინაც კი, თუ სამუშაო წნევა 1~10Pa-დან 10-210-1Pa-მდე შემცირდება, გაფრქვევის ძაბვაც ათასობით ვოლტიდან ასობით ვოლტამდე მცირდება, გაფრქვევის ეფექტურობა და დალექვის სიჩქარე რამდენჯერმე იზრდება.
- ეს სტატია გამოქვეყნებულიავაკუუმური საფარის მანქანის მწარმოებელიგუანგდონგ ჟენხუა
გამოქვეყნების დრო: დეკემბერი-01-2023