מאפייני סרטי ציפוי התזה

① יכולת בקרה וחזרה טובה של עובי הסרט

האם ניתן לשלוט בעובי הסרט בערך קבוע מראש נקרא בקרת עובי הסרט. ניתן לחזור על עובי הסרט הנדרש פעמים רבות, וזה נקרא חזרתיות של עובי הסרט. מכיוון שניתן לשלוט בנפרד בזרם הפריקה ובזרם היעד של ציפוי התזה בוואקום. לכן, ניתן לשלוט בעובי הסרט המותז, וניתן להניח את הסרט בעובי קבוע מראש בצורה אמינה. בנוסף, ציפוי ההתזה יכול להשיג סרט בעובי אחיד על משטח גדול.

② הידבקות חזקה בין הסרט למצע

האנרגיה של האטומים המותזים גבוהה ב-1-2 סדרי גודל מזו של האטומים המתאדים. המרת האנרגיה של האטומים המותזים בעלי אנרגיה גבוהה המופקדים על המצע גבוהה בהרבה מזו של האטומים המתאדים, מה שמייצר חום גבוה יותר ומשפר את ההידבקות בין האטומים המותזים למצע. בנוסף, חלק מהאטומים המותזים בעלי אנרגיה גבוהה מייצרים דרגות שונות של הזרקה, ויוצרים שכבת פסאודו-דיפוזיה על המצע. בנוסף, המצע מנוקה ומופעל תמיד באזור הפלזמה במהלך תהליך יצירת הסרט, מה שמסיר את האטומים המותזים בעלי הידבקות חלשה, ומטהר ומפעיל את פני המצע. לכן, לסרט המותז יש הידבקות חזקה למצע.

③ ניתן להכין סרט חומר חדש שונה מהמטרה

אם מכניסים גז ריאקטיבי במהלך ההתזה כדי לגרום לו להגיב עם המטרה, ניתן להשיג שכבת חומר חדשה ושונה לחלוטין מהמטרה. לדוגמה, משתמשים בסיליקון כמטרת ההתזה, וחמצן וארגון מוכנסים יחד לתא הוואקום. לאחר ההתזה, ניתן להשיג שכבת בידוד SiOz. באמצעות טיטניום כמטרת ההתזה, חנקן וארגון מוכנסים יחד לתא הוואקום, וניתן להשיג שכבה דמוית זהב TiN לאחר ההתזה.

④ טוהר גבוה ואיכות טובה של סרט

מכיוון שאין רכיב ציד במכשיר הכנת סרט ההתזה, רכיבי חומר חימום ציד לא יתערבבו בשכבת סרט ההתזה. החסרונות של ציפוי התזה הם שמהירות יצירת הסרט איטית יותר מזו של ציפוי אידוי, טמפרטורת המצע גבוהה יותר, קל להשפעתו על גז טומאה, ומבנה המכשיר מורכב יותר.

מאמר זה פורסם על ידי גואנגדונג ז'נהואה, יצרנית שלציוד ציפוי ואקום