① Góð stjórnanleiki og endurtekningarhæfni filmuþykktar
Hvort hægt sé að stjórna filmuþykktinni við fyrirfram ákveðið gildi kallast stjórnanleiki filmuþykktar. Hægt er að endurtaka nauðsynlega filmuþykktina oft, sem kallast endurtekningarhæfni filmuþykktar. Þar sem hægt er að stjórna útblástursstraumnum og markstraumnum í lofttæmisspúttunarhúðun sérstaklega er hægt að stjórna þykkt spúttunarfilmunnar og hægt er að setja filmu með fyrirfram ákveðinni þykkt á áreiðanlegan hátt. Að auki getur spúttunarhúðunin fengið filmu með jafnri þykkt á stóru yfirborði.
② Sterk viðloðun milli filmu og undirlags
Orka spútruðu atómanna er 1-2 stærðargráður hærri en orka uppgufuðu atómanna. Orkubreyting háorku spútruðu atómanna sem eru sett á undirlagið er mun hærri en orka uppgufuðu atómanna, sem myndar meiri hita og eykur viðloðunina milli spútruðu atómanna og undirlagsins. Að auki framleiða sum háorku spútruð atóm mismunandi innspýtingargráður, sem myndar gervidreifingarlag á undirlaginu. Að auki er undirlagið alltaf hreinsað og virkjað í plasmasvæðinu meðan á filmumyndun stendur, sem fjarlægir spútruðu atómin með veika viðloðun og hreinsar og virkjar yfirborð undirlagsins. Þess vegna hefur spútruðu filman sterka viðloðun við undirlagið.
③ Hægt er að útbúa nýja efnisfilmu sem er frábrugðin skotmarkinu
Ef hvarfgjörn gas er bætt við við spútrun til að láta það hvarfast við skotmarkið, er hægt að fá nýja efnisfilmu sem er gjörólík skotmarkinu. Til dæmis er kísill notaður sem spútrunarmarkmið og súrefni og argon eru sett saman í lofttæmishólfið. Eftir spútrun er hægt að fá SiOz einangrunarfilmu. Með því að nota títan sem spútrunarmarkmið eru köfnunarefni og argon sett saman í lofttæmishólfið og hægt er að fá gullkennda TiN-fasafilmu eftir spútrun.
④ Mikil hreinleiki og góð gæði filmu
Þar sem enginn deigluþáttur er í spúttunarfilmubúnaðinum, munu þættir deigluhitunarefnisins ekki blandast saman í spúttunarfilmulaginu. Ókostir spúttunarhúðunar eru að filmumyndunarhraðinn er hægari en uppgufunarhúðun, undirlagshitastigið er hærra, það er auðvelt að hafa áhrif á óhreinindi og uppbygging tækisins er flóknari.
Þessi grein er gefin út af Guangdong Zhenhua, framleiðandatómarúmshúðunarbúnaður
Birtingartími: 9. mars 2023