Í samanburði við aðrar húðunartækni einkennist segulspúttunarhúðun af eftirfarandi eiginleikum: Vinnslubreyturnar hafa stórt breytilegt aðlögunarsvið, hraða húðunar og þykkt (ástand húðaðs svæðis) er auðvelt að stjórna og engar hönnunartakmarkanir eru á rúmfræði segulmarksins til að tryggja einsleitni húðunarinnar; það er ekkert vandamál með dropaagnir í filmulaginu; næstum öll málma, málmblöndur og keramik er hægt að búa til markefni; og markefnið er hægt að framleiða með jafnstraums- eða RF-segulspúttrun, sem getur myndað hreinar málm- eða málmblönduhúðanir með nákvæmu hlutfalli, sem og málmhvarfgjarnar filmur með þátttöku gass. Með jafnstraums- eða RF-spúttrun er hægt að mynda hreinar málm- eða málmblönduhúðanir með nákvæmum og föstum hlutföllum, sem og málmhvarfgjarnar filmur með þátttöku gass, til að uppfylla kröfur um fjölbreytni þunnfilmu og mikla nákvæmni. Dæmigerðar ferlisbreytur fyrir segulspúttunarhúðun eru: vinnuþrýstingur 0,1 Pa; markspenna 300~700V; markaflþéttleiki 1~36W/cm².
Sérstakir eiginleikar magnetron sputtering eru:
(1) Mikil útfellingarhraði. Vegna notkunar segulrafskauta er hægt að fá mjög mikinn jónstraum sem sprengir skotmarkið, þannig að bæði sputter-etsunarhraðinn á yfirborði skotmarksins og filmuútfellingarhraðinn á yfirborði undirlagsins eru mjög háir.
(2) Mikil orkunýtni. Líkur á árekstri lágorku rafeinda og gasatóma eru miklar, þannig að sundrunarhraði gassins eykst verulega. Þar af leiðandi minnkar viðnám útblástursgassins (eða plasma) verulega. Þess vegna, jafnvel þótt vinnuþrýstingurinn minnki úr 1~10Pa í 10-210-1Pa, minnkar spúttspennan einnig úr þúsundum volta í hundruð volta, sem eykur spúttunarnýtni og útfellingarhraði um margar stærðargráður, samanborið við jafnstraums segulspúttrun.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 1. des. 2023