Համեմատած այլ ծածկույթային տեխնոլոգիաների հետ, մագնետրոնային փոշիացման ծածկույթը բնութագրվում է հետևյալ առանձնահատկություններով. աշխատանքային պարամետրերը ունեն ծածկույթի նստեցման արագության և հաստության (ծածկված մակերեսի վիճակի) մեծ դինամիկ կարգավորման միջակայք, որը կարող է հեշտությամբ կառավարվել, և մագնետրոնային թիրախի երկրաչափության վրա նախագծային սահմանափակում չկա՝ ծածկույթի միատարրությունն ապահովելու համար. թաղանթի շերտում կաթիլային մասնիկների խնդիր չկա. գրեթե բոլոր մետաղները, համաձուլվածքները և կերամիկան կարող են վերածվել թիրախային նյութերի. և թիրախային նյութը կարող է ստացվել հաստատուն հոսանքի կամ ռադիոհաճախականության մագնետրոնային փոշիացման միջոցով, որը կարող է ստեղծել մաքուր մետաղական կամ համաձուլվածքային ծածկույթներ՝ ճշգրիտ հարաբերակցությամբ, ինչպես նաև մետաղական ռեակտիվ թաղանթներ՝ գազի մասնակցությամբ: Հաստատուն հոսանքի կամ ռադիոհաճախականության փոշիացման միջոցով հնարավոր է ստեղծել մաքուր մետաղական կամ համաձուլվածքային ծածկույթներ՝ ճշգրիտ և հաստատուն հարաբերակցությամբ, ինչպես նաև մետաղական ռեակտիվ թաղանթներ՝ գազի մասնակցությամբ, որպեսզի բավարարվեն բարակ թաղանթի բազմազանության և բարձր ճշգրտության պահանջները: Մագնետրոնային փոշիացման ծածկույթի բնորոշ գործընթացային պարամետրերն են՝ 0.1 Պա աշխատանքային ճնշում, 300~700 Վ թիրախային լարում, 1~36 Վտ/սմ² թիրախային հզորության խտություն:
Մագնետրոնային փոշիացման առանձնահատկություններն են՝
(1) Բարձր նստեցման արագություն։ Մագնետրոնային էլեկտրոդների օգտագործման շնորհիվ կարելի է ստանալ շատ մեծ թիրախային ռմբակոծության իոնային հոսանք, ուստի թիրախի մակերեսին փոշիացման փորագրման արագությունը և հիմքի մակերեսին թաղանթի նստեցման արագությունը շատ բարձր են։
(2) Բարձր էներգաարդյունավետություն։ Ցածր էներգիայի էլեկտրոնների և գազի ատոմների բախման հավանականությունը բարձր է, ուստի գազի դիսոցացիայի արագությունը զգալիորեն մեծանում է։ Համապատասխանաբար, արտանետման գազի (կամ պլազմայի) իմպեդանսը զգալիորեն նվազում է։ Հետևաբար, հաստատուն հոսանքի մագնետրոնային փոշիացման դեպքում, համեմատած հաստատուն հոսանքի դիպոլային փոշիացման հետ, նույնիսկ եթե աշխատանքային ճնշումը 1~10Pa-ից նվազում է մինչև 10-210-1Pa, փոշիացման լարումը նույնպես նվազում է հազարավոր վոլտից մինչև հարյուրավոր վոլտ, փոշիացման արդյունավետությունը և նստեցման արագությունը մեծանում են մեծության կարգերով։
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա
Հրապարակման ժամանակը. Դեկտեմբերի 01-2023