① A filmvastagság jó szabályozhatósága és ismételhetősége
Azt, hogy a filmvastagság egy előre meghatározott értéken szabályozható-e, filmvastagság-szabályozhatóságnak nevezzük. A kívánt filmvastagság többször is beállítható, ezt nevezzük filmvastagság-ismételhetőségnek. Mivel a vákuumos porlasztásos bevonat kisülési árama és célárama külön szabályozható, a porlasztott film vastagsága szabályozható, és az előre meghatározott vastagságú film megbízhatóan lerakható. Ezenkívül a porlasztásos bevonat nagy felületen egyenletes vastagságú filmet eredményez.
② Erős tapadás a fólia és az aljzat között
A porlasztott atomok energiája 1-2 nagyságrenddel nagyobb, mint az elpárologtatott atomoké. A hordozóra lerakódott nagy energiájú porlasztott atomok energiakonverziója sokkal magasabb, mint az elpárologtatott atomoké, ami nagyobb hőt termel, és fokozza a porlasztott atomok és a hordozó közötti tapadást. Ezenkívül egyes nagy energiájú porlasztott atomok eltérő mértékű injektálást produkálnak, pszeudodiffúziós réteget képezve a hordozón. Ezenkívül a filmképződési folyamat során a hordozó mindig tisztul és aktiválódik a plazma régióban, ami eltávolítja a gyenge tapadású porlasztott atomokat, és megtisztítja és aktiválja a hordozó felületét. Ezért a porlasztott film erősen tapad a hordozóhoz.
③ Új, a céltól eltérő anyagú film készíthető
Ha a porlasztás során reaktív gázt vezetnek be, hogy az reakcióba lépjen a céltárgylal, egy új, a céltárgytól teljesen eltérő anyagfilmet kaphatunk. Például szilíciumot használnak porlasztási céltárgyként, és oxigént és argont együttesen juttatnak a vákuumkamrába. A porlasztás után SiOz szigetelőfilmet kaphatunk. Titánt használva porlasztási céltárgyként, nitrogént és argont együttesen juttatnak a vákuumkamrába, és a porlasztás után TiN fázisú, aranyszerű filmet kaphatunk.
4. Nagy tisztaságú és jó minőségű film
Mivel a porlasztó film előkészítő eszközben nincs olvasztótégely komponens, a olvasztótégely fűtőanyagának komponensei nem keverednek a porlasztó filmrétegben. A porlasztásos bevonatolás hátrányai, hogy a filmképződés sebessége lassabb, mint a párologtatásos bevonatolásé, az aljzat hőmérséklete magasabb, könnyen kihat a szennyező gázokra, és az eszköz szerkezete bonyolultabb.
Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua, a ... gyártója tette közzé.vákuumos bevonóberendezés
Közzététel ideje: 2023. márc. 9.