Más bevonási technológiákkal összehasonlítva a magnetron porlasztásos bevonatolás a következő tulajdonságokkal rendelkezik: a munkaparaméterek nagy dinamikus beállítási tartománnyal rendelkeznek, a bevonat lerakódási sebessége és vastagsága (a bevont terület állapota) könnyen szabályozható, és a magnetron céltárgy geometriájára vonatkozóan nincsenek tervezési korlátozások a bevonat egyenletességének biztosítása érdekében; nincs probléma a filmrétegben lévő csepprészecskékkel; szinte minden fém, ötvözet és kerámia céltárgyanyaggá alakítható; és a céltárgyanyag DC vagy RF magnetron porlasztással előállítható, amely tiszta fém- vagy ötvözetbevonatokat hoz létre pontos arányokkal, valamint gáz részvételével fémreaktív filmeket. DC vagy RF porlasztással tiszta fém- vagy ötvözetbevonatokat lehet előállítani pontos és állandó arányokkal, valamint fémreaktív filmeket gáz részvételével, hogy megfeleljenek a vékonyréteg-diverzitás és a nagy pontosság követelményeinek. A magnetron porlasztásos bevonatolás tipikus folyamatparaméterei: 0,1 Pa üzemi nyomás; 300~700V célfeszültség; 1~36 W/cm² célteljesítmény-sűrűség.
A magnetronos porlasztás sajátosságai a következők:
(1) Magas lerakódási sebesség. A magnetronelektródák használatának köszönhetően nagyon nagy célpont bombázási ionáram érhető el, így a célpont felületén a porlasztásos maratás sebessége és az aljzat felületén a film lerakódási sebessége egyaránt nagyon magas.
(2) Nagy energiahatékonyság. Az alacsony energiájú elektronok és a gázatomok ütközési valószínűsége magas, így a gáz disszociációs sebessége jelentősen megnő. Ennek megfelelően a kisülési gáz (vagy plazma) impedanciája jelentősen csökken. Ezért az egyenáramú magnetronos porlasztás az egyenáramú dipólusos porlasztáshoz képest nagyságrendekkel megnő a porlasztási hatékonyság és a lerakódási sebesség, még ha az üzemi nyomást 1~10 Pa-ról 10-210-1Pa-ra csökkentik is.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. dec. 1.