① Bon kontwolabilite ak repetabilite epesè fim nan
Si epesè fim nan ka kontwole nan yon valè predetèmine, sa rele kontrwabilite epesè fim. Epesè fim ki nesesè a ka repete plizyè fwa, sa rele repetabilite epesè fim. Paske kouran egzeyat la ak kouran sib kouch pulverizasyon vakyòm nan ka kontwole separeman. Kidonk, epesè fim pulverizasyon an ka kontrwabilite, epi fim ki gen epesè predetèmine a ka depoze yon fason fyab. Anplis de sa, kouch pulverizasyon an ka bay yon fim ki gen epesè inifòm sou yon gwo sifas.
② Bon adezyon ant fim nan ak substra a
Enèji atòm pulverizasyon yo 1-2 lòd mayitid pi wo pase sa atòm evapore yo. Konvèsyon enèji atòm pulverizasyon ki gen anpil enèji ki depoze sou substrat la pi wo pase sa atòm evapore yo, sa ki jenere plis chalè epi amelyore adezyon ant atòm pulverizasyon yo ak substrat la. Anplis de sa, kèk atòm pulverizasyon ki gen anpil enèji pwodui diferan degre enjeksyon, sa ki fòme yon kouch pseudodifizyon sou substrat la. Anplis de sa, substrat la toujou netwaye epi aktive nan rejyon plasma a pandan pwosesis fòmasyon fim nan, sa ki retire atòm pulverizasyon ki gen adezyon fèb yo, epi pirifye epi aktive sifas substrat la. Se poutèt sa, fim pulverizasyon an gen yon adezyon fò ak substrat la.
③ Yo ka prepare yon nouvo fim materyèl ki diferan de sib la
Si yo entwodui gaz reyaktif pandan pulverizasyon an pou fè l reyaji avèk sib la, yo ka jwenn yon nouvo fim materyèl ki konplètman diferan de sib la. Pa egzanp, yo itilize Silisyòm kòm sib pulverizasyon an, epi yo mete oksijèn ak agon nan chanm vakyòm nan ansanm. Apre pulverizasyon an, yo ka jwenn yon fim izolan SiOz. Lè yo itilize Titàn kòm sib pulverizasyon an, yo mete azòt ak agon nan chanm vakyòm nan ansanm, epi yo ka jwenn yon fim faz TiN ki sanble ak lò apre pulverizasyon an.
④ Segondè pite ak bon kalite fim
Piske pa gen okenn eleman pou kouch fim pulverizasyon an, konpozan materyèl chofaj kouch la p ap melanje nan kouch fim pulverizasyon an. Dezavantaj kouch pulverizasyon an se ke vitès fòmasyon fim nan pi dousman pase kouch evaporasyon an, tanperati substrat la pi wo, li fasil pou gaz enpurte afekte li, epi estrikti aparèy la pi konplèks.
Atik sa a pibliye pa Guangdong Zhenhua, yon manifakti.ekipman pou kouvri ak vakyòm
Lè pòs la: 9 Mas 2023