Konpare ak lòt teknoloji kouch, kouch pulverizasyon mayetron karakterize pa karakteristik sa yo: paramèt travay yo gen yon gwo ranje ajisteman dinamik vitès depo kouch la ak epesè (eta zòn ki kouvri a) ka fasil pou kontwole, epi pa gen okenn limitasyon konsepsyon sou jeyometri sib mayetron an pou asire inifòmite kouch la; pa gen okenn pwoblèm patikil gout nan kouch fim nan; prèske tout metal, alyaj, ak seramik yo ka fèt an materyèl sib; epi materyèl sib la ka pwodui pa pulverizasyon mayetron DC oswa RF, ki ka jenere kouch metal pi oswa alyaj ak rapò egzak, osi byen ke fim metal reyaktif ak patisipasyon gaz. Atravè pulverizasyon DC oswa RF, li posib pou jenere kouch metal pi oswa alyaj ak rapò egzak ak konstan, osi byen ke fim metal reyaktif ak patisipasyon gaz, pou satisfè egzijans divèsite fim mens ak gwo presizyon. Paramèt pwosesis tipik pou kouch pulverizasyon mayetron yo se: presyon travay 0.1Pa; vòltaj sib 300 ~ 700V; dansite pouvwa sib 1 ~ 36W / cm².
Karakteristik espesifik pulverizasyon mayetron yo se:
(1) Gwo pousantaj depo. Akòz itilizasyon elektwòd mayetron, yo ka jwenn yon gwo kouran iyon bonbadman sib, kidonk pousantaj grave pa pulverizasyon sou sifas sib la ak pousantaj depo fim sou sifas substrat la tou de trè wo.
(2) Segondè efikasite enèji. Pwobabilite kolizyon elektwon ki gen ti enèji ak atòm gaz yo wo, kidonk vitès disosyasyon gaz la ogmante anpil. Kidonk, enpedans gaz egzeyat la (oswa plasma) redwi anpil. Kidonk, pulverizasyon mayetron DC konpare ak pulverizasyon dipol DC, menm si presyon travay la redwi soti nan 1 ~ 10 Pa a 10-210-1 Pa, vòltaj pulverizasyon an redwi tou soti nan plizyè milye vòlt a plizyè santèn vòlt, efikasite pulverizasyon an ak vitès depo a ogmante pa plizyè lòd mayitid.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 1ye desanm 2023