① Dobra upravljivost i ponovljivost debljine filma
Može li se debljina filma kontrolirati na unaprijed određenoj vrijednosti naziva se upravljivost debljine filma. Potrebna debljina filma može se ponavljati više puta, što se naziva ponovljivost debljine filma. Budući da se struja pražnjenja i struja cilja vakuumskog raspršivanja mogu zasebno kontrolirati, debljina raspršenog filma je stoga kontrolirana i film unaprijed određene debljine može se pouzdano nanositi. Osim toga, raspršivanjem se može dobiti film jednolike debljine na velikoj površini.
② Snažno prianjanje između filma i podloge
Energija raspršenih atoma je 1-2 reda veličine veća od energije isparenih atoma. Pretvorba energije visokoenergetskih raspršenih atoma taloženih na podlozi je mnogo veća od one isparenih atoma, što generira veću toplinu i poboljšava adheziju između raspršenih atoma i podloge. Osim toga, neki visokoenergetski raspršeni atomi proizvode različite stupnjeve ubrizgavanja, formirajući pseudodifuzijski sloj na podlozi. Osim toga, podloga se uvijek čisti i aktivira u području plazme tijekom procesa formiranja filma, što uklanja atome raspršenja sa slabom adhezijom te pročišćava i aktivira površinu podloge. Stoga, raspršeni film ima snažno prianjanje na podlogu.
③ Može se pripremiti novi materijalni film koji se razlikuje od ciljanog
Ako se tijekom raspršivanja uvede reaktivni plin kako bi reagirao s metom, može se dobiti novi materijalni film potpuno drugačiji od mete. Na primjer, silicij se koristi kao meta za raspršivanje, a kisik i argon se zajedno stavljaju u vakuumsku komoru. Nakon raspršivanja može se dobiti SiOz izolacijski film. Korištenjem titana kao mete za raspršivanje, dušik i argon se zajedno stavljaju u vakuumsku komoru, a nakon raspršivanja može se dobiti fazni TiN film sličan zlatu.
④ Visoka čistoća i dobra kvaliteta filma
Budući da u uređaju za pripremu filma za raspršivanje nema komponente lončića, komponente materijala grijača lončića neće se miješati u sloju filma za raspršivanje. Nedostaci raspršivanja premaza su sporiji oblik filma od isparavanja premaza, viša temperatura podloge, lako je pod utjecajem plina nečistoća i složenija struktura uređaja.
Ovaj članak objavljuje Guangdong Zhenhua, proizvođačoprema za vakuumsko premazivanje
Vrijeme objave: 09.03.2023.