अन्य कोटिंग प्रौद्योगिकियों की तुलना में, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग को निम्नलिखित विशेषताओं की विशेषता है: कामकाजी मापदंडों में कोटिंग जमा करने की गति और मोटाई की एक बड़ी गतिशील समायोजन रेंज होती है (कोटेड क्षेत्र की स्थिति) को आसानी से नियंत्रित किया जा सकता है, और कोटिंग की एकरूपता सुनिश्चित करने के लिए मैग्नेट्रॉन लक्ष्य की ज्यामिति पर कोई डिज़ाइन सीमा नहीं है; फिल्म परत में छोटी बूंद कणों की कोई समस्या नहीं है; लगभग सभी धातुओं, मिश्र धातुओं और सिरेमिक को लक्ष्य सामग्री में बनाया जा सकता है; और लक्ष्य सामग्री को डीसी या आरएफ मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग द्वारा उत्पादित किया जा सकता है, जो सटीक अनुपात के साथ शुद्ध धातु या मिश्र धातु कोटिंग्स, साथ ही गैस भागीदारी के साथ धातु प्रतिक्रियाशील फिल्में उत्पन्न कर सकता है। डीसी या आरएफ स्पटरिंग के माध्यम से, पतली फिल्म विविधता और उच्च परिशुद्धता की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए सटीक और स्थिर अनुपात के साथ शुद्ध धातु या मिश्र धातु कोटिंग्स, साथ ही गैस भागीदारी के साथ धातु प्रतिक्रियाशील फिल्में उत्पन्न करना संभव है। लक्ष्य शक्ति घनत्व 1~36W/cm².
मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की विशिष्ट विशेषताएं हैं:
(1) उच्च जमाव दर। मैग्नेट्रॉन इलेक्ट्रोड के उपयोग के कारण, एक बहुत बड़ा लक्ष्य बमबारी आयन वर्तमान प्राप्त किया जा सकता है, इसलिए लक्ष्य सतह पर स्पटर नक़्क़ाशी दर और सब्सट्रेट सतह पर फिल्म जमाव दर दोनों बहुत अधिक हैं।
(2) उच्च शक्ति दक्षता। कम ऊर्जा वाले इलेक्ट्रॉनों और गैस परमाणुओं की टक्कर की संभावना अधिक होती है, इसलिए गैस पृथक्करण दर बहुत बढ़ जाती है। तदनुसार, डिस्चार्ज गैस (या प्लाज्मा) की प्रतिबाधा बहुत कम हो जाती है। इसलिए, डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग की तुलना डीसी डिपोल स्पटरिंग से की जाती है, भले ही काम का दबाव 1 ~ 10Pa से 10-210-1Pa तक कम हो जाए, स्पटरिंग वोल्टेज भी हजारों वोल्ट से सैकड़ों वोल्ट तक कम हो जाता है, स्पटरिंग दक्षता और जमाव दर परिमाण के क्रम से बढ़ जाती है।
-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: दिसम्बर-01-2023