① ફિલ્મની જાડાઈની સારી નિયંત્રણક્ષમતા અને પુનરાવર્તિતતા
ફિલ્મની જાડાઈને પૂર્વનિર્ધારિત મૂલ્ય પર નિયંત્રિત કરી શકાય છે કે કેમ તેને ફિલ્મ જાડાઈ નિયંત્રણક્ષમતા કહેવામાં આવે છે. જરૂરી ફિલ્મની જાડાઈ ઘણી વખત પુનરાવર્તિત થઈ શકે છે, જેને ફિલ્મ જાડાઈ પુનરાવર્તિતતા કહેવામાં આવે છે. કારણ કે વેક્યુમ સ્પટરિંગ કોટિંગના ડિસ્ચાર્જ કરંટ અને લક્ષ્ય પ્રવાહને અલગથી નિયંત્રિત કરી શકાય છે. તેથી, સ્પટર ફિલ્મની જાડાઈ નિયંત્રિત કરી શકાય છે, અને પૂર્વનિર્ધારિત જાડાઈવાળી ફિલ્મ વિશ્વસનીય રીતે જમા કરી શકાય છે. વધુમાં, સ્પટર કોટિંગ મોટી સપાટી પર સમાન જાડાઈવાળી ફિલ્મ મેળવી શકે છે.
② ફિલ્મ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચે મજબૂત સંલગ્નતા
સ્પુટર્ડ અણુઓની ઉર્જા બાષ્પીભવન થયેલા અણુઓ કરતા 1-2 ઓર્ડર વધુ હોય છે. સબસ્ટ્રેટ પર જમા થયેલા ઉચ્ચ-ઊર્જા સ્પુટર્ડ અણુઓનું ઉર્જા રૂપાંતર બાષ્પીભવન થયેલા અણુઓ કરતા ઘણું વધારે હોય છે, જે વધુ ગરમી ઉત્પન્ન કરે છે અને સ્પુટર્ડ અણુઓ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચે સંલગ્નતા વધારે છે. વધુમાં, કેટલાક ઉચ્ચ-ઊર્જા સ્પુટર્ડ અણુઓ ઇન્જેક્શનના વિવિધ ડિગ્રી ઉત્પન્ન કરે છે, જે સબસ્ટ્રેટ પર સ્યુડોડિફ્યુઝન સ્તર બનાવે છે. વધુમાં, ફિલ્મ બનાવવાની પ્રક્રિયા દરમિયાન સબસ્ટ્રેટ હંમેશા પ્લાઝ્મા ક્ષેત્રમાં સાફ અને સક્રિય થાય છે, જે નબળા સંલગ્નતાવાળા સ્પુટરિંગ અણુઓને દૂર કરે છે, અને સબસ્ટ્રેટ સપાટીને શુદ્ધ અને સક્રિય કરે છે. તેથી, સ્પુટર્ડ ફિલ્મ સબસ્ટ્રેટ સાથે મજબૂત સંલગ્નતા ધરાવે છે.
③ લક્ષ્ય કરતાં અલગ નવી મટીરીયલ ફિલ્મ તૈયાર કરી શકાય છે
જો સ્પટરિંગ દરમિયાન પ્રતિક્રિયાશીલ ગેસ દાખલ કરવામાં આવે છે જેથી તે લક્ષ્ય સાથે પ્રતિક્રિયા આપે, તો લક્ષ્યથી સંપૂર્ણપણે અલગ એક નવી સામગ્રી ફિલ્મ મેળવી શકાય છે. ઉદાહરણ તરીકે, સિલિકોનનો ઉપયોગ સ્પટરિંગ લક્ષ્ય તરીકે થાય છે, અને ઓક્સિજન અને આર્ગોનને વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં એકસાથે મૂકવામાં આવે છે. સ્પટરિંગ પછી, SiOz ઇન્સ્યુલેટીંગ ફિલ્મ મેળવી શકાય છે. સ્પટરિંગ લક્ષ્ય તરીકે ટાઇટેનિયમનો ઉપયોગ કરીને, નાઇટ્રોજન અને આર્ગોનને વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં એકસાથે મૂકવામાં આવે છે, અને સ્પટરિંગ પછી ફેઝ TiN સોના જેવી ફિલ્મ મેળવી શકાય છે.
④ ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને ફિલ્મની સારી ગુણવત્તા
સ્પટરિંગ ફિલ્મ તૈયારી ઉપકરણમાં કોઈ ક્રુસિબલ ઘટક ન હોવાથી, ક્રુસિબલ હીટર સામગ્રીના ઘટકો સ્પટરિંગ ફિલ્મ સ્તરમાં મિશ્રિત થશે નહીં. સ્પટરિંગ કોટિંગના ગેરફાયદા એ છે કે ફિલ્મ બનાવવાની ગતિ બાષ્પીભવન કોટિંગ કરતા ધીમી હોય છે, સબસ્ટ્રેટનું તાપમાન વધારે હોય છે, અશુદ્ધિ ગેસથી પ્રભાવિત થવું સરળ હોય છે, અને ઉપકરણનું માળખું વધુ જટિલ હોય છે.
આ લેખ ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ દ્વારા પ્રકાશિત કરવામાં આવ્યો છે, જે એક ઉત્પાદક છેવેક્યુમ કોટિંગ સાધનો
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-૦૯-૨૦૨૩