① Deagh smachd agus ath-aithris air tighead film
Canar smachdachd tighead film ri co-dhiù a ghabhas smachd a chumail air tighead an fhilm aig luach ro-shuidhichte. Faodar an tighead film a tha a dhìth ath-aithris iomadh uair, ris an canar ath-aithriseachd tighead film. Leis gum faodar smachd a chumail air an t-sruth sgaoilidh agus an sruth targaid den chòmhdach sputtering falamh air leth. Mar sin, tha smachd air tighead an fhilm sputtered, agus faodar am film le tighead ro-shuidhichte a thasgadh gu earbsach. A bharrachd air an sin, faodaidh an còmhdach sputter film le tighead èideadh fhaighinn air uachdar mòr.
② Greamachadh làidir eadar am film agus an t-substrate
Tha lùth nan dadaman spùtaichte 1-2 òrdughan meudachd nas àirde na lùth nan dadaman a chaidh a ghalachadh. Tha tionndadh lùtha nan dadaman spùtaichte àrd-lùtha a chaidh a thasgadh air an t-substrate mòran nas àirde na lùth nan dadaman a chaidh a ghalachadh, a chruthaicheas teas nas àirde agus a neartaicheas an greamachadh eadar na dadaman spùtaichte agus an t-substrate. A bharrachd air an sin, bidh cuid de dadaman spùtaichte àrd-lùtha a’ toirt a-mach diofar ìrean de stealladh, a’ cruthachadh sreath pseudo-sgaoilidh air an t-substrate. A bharrachd air an sin, bidh an t-substrate an-còmhnaidh air a ghlanadh agus air a ghnìomhachadh anns an roinn plasma rè a’ phròiseas cruthachadh film, a bheir air falbh na dadaman spùtaichte le greamachadh lag, agus a ghlanas agus a ghnìomhaicheas uachdar an t-substrate. Mar sin, tha greamachadh làidir aig an fhilm spùtaichte ris an t-substrate.
③ Faodar film stuth ùr eadar-dhealaichte bhon targaid ullachadh
Ma thèid gas ath-ghnìomhach a thoirt a-steach rè sputtering gus a dhèanamh ag ath-bhualadh leis an targaid, gheibhear film stuth ùr gu tur eadar-dhealaichte bhon targaid. Mar eisimpleir, thathas a’ cleachdadh silicon mar an targaid sputtering, agus thèid ocsaidean agus argon a chuir a-steach don t-seòmar falamh còmhla. Às deidh sputtering, gheibhear film inslitheachaidh SiOz. Le bhith a’ cleachdadh titanium mar an targaid sputtering, thèid naitridean agus argon a chuir a-steach don t-seòmar falamh còmhla, agus gheibhear am film coltach ri òr TiN ìre às deidh sputtering.
④ Glanachd àrd agus deagh chàileachd film
Leis nach eil pàirt sam bith den chrios-chrios anns an inneal ullachaidh film spùtaidh, cha tèid pàirtean den stuth teasachaidh crios-chrios a mheasgachadh anns an t-sreath film spùtaidh. Is e na h-eas-bhuannachdan a tha an lùib còmhdach spùtaidh gu bheil astar cruthachadh film nas slaodaiche na astar còmhdach falmhachaidh, gu bheil teòthachd an t-substrate nas àirde, gu bheil e furasta buaidh a thoirt air le gas neo-ghlaine, agus gu bheil structar an inneil nas iom-fhillte.
Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua, neach-dèanamh deuidheam còmhdach falamh
Àm puist: Màrt-09-2023