An coimeas ri teicneòlasan còtaidh eile, tha na feartan a leanas aig còtadh sputtering magnetron: tha raon atharrachaidh fiùghantach mòr aig na paramadairean obrach de astar tasgadh còtaidh agus faodar tiugh (staid na sgìre còtaichte) a smachdachadh gu furasta, agus chan eil cuingealachadh dealbhaidh air geoimeatraidh targaid a’ magnetron gus dèanamh cinnteach à cunbhalachd a’ chòtaidh; chan eil duilgheadas ann le mìrean boinneagan anns an t-sreath film; faodar cha mhòr a h-uile meatailt, aloidhean, agus ceirmeag a dhèanamh na stuthan targaid; agus faodar an stuth targaid a thoirt gu buil le sputtering magnetron DC no RF, a dh’ fhaodas còtaichean meatailt no aloidhean fìor-ghlan a chruthachadh le co-mheas mionaideach, a bharrachd air filmichean ath-ghnìomhach meatailt le com-pàirteachadh gas. Tro sputtering DC no RF, tha e comasach còtaichean meatailt no aloidhean fìor-ghlan a chruthachadh le co-mheasan mionaideach agus seasmhach, a bharrachd air filmichean ath-ghnìomhach meatailt le com-pàirteachadh gas, gus coinneachadh ri riatanasan iomadachd film tana agus mionaideachd àrd. Is iad na paramadairean pròiseas àbhaisteach airson còtadh sputtering magnetron: cuideam obrach de 0.1Pa; bholtadh targaid de 300 ~ 700V; dùmhlachd cumhachd targaid de 1 ~ 36W / cm².
Is iad na feartan sònraichte a th’ aig sputtering magnetron:
(1) Ìre tasgadh àrd. Air sgàth cleachdadh electrodan magnetron, gheibhear sruth ian bombardaidh targaid glè mhòr, agus mar sin tha an ìre gràbhaladh sputter air uachdar an targaid agus an ìre tasgadh film air uachdar an t-substrate le chèile glè àrd.
(2) Èifeachdas cumhachd àrd. Tha coltachd bualadh dealanan ìosal-lùtha agus dadaman gas àrd, agus mar sin tha an ìre dealachaidh gas air a mheudachadh gu mòr. Mar sin, tha impedance a’ ghas sgaoilidh (no plasma) air a lùghdachadh gu mòr. Mar sin, an taca ri sputtering DC magnetron, eadhon ged a thèid cuideam obrach a lùghdachadh bho 1 ~ 10 Pa gu 10-210-1 Pa, tha bholtadh sputtering cuideachd air a lùghdachadh bho mhìltean de bholt gu ceudan de bholt, tha èifeachdas sputtering agus ìre tasgadh air a mheudachadh le òrdughan meudachd.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: Dùbhlachd-01-2023