Saintréithe scannán sciath spútála

① Dea-inrialaitheacht agus in-athdhéantacht thiús an scannáin

Tugtar inrialaitheacht thiús an scannáin ar cibé an féidir tiús an scannáin a rialú ag luach réamhshocraithe. Is féidir an tiús scannáin riachtanach a athdhéanamh go minic, rud a thugtar in-athdhéantacht thiús an scannáin air. Toisc gur féidir sruth urscaoilte agus sruth sprice an sciath spútarála folúis a rialú ar leithligh. Dá bhrí sin, is féidir tiús an scannáin spútarála a rialú, agus is féidir an scannán le tiús réamhshocraithe a thaisceadh go hiontaofa. Ina theannta sin, is féidir leis an sciath spútarála scannán le tiús aonfhoirmeach a fháil ar dhromchla mór.

② Greamaitheacht láidir idir an scannán agus an tsubstráit

Tá fuinneamh na n-adamh spútartha 1-2 ord méide níos airde ná fuinneamh na n-adamh galaithe. Tá tiontú fuinnimh na n-adamh spútartha ardfhuinnimh atá taiscthe ar an tsubstráit i bhfad níos airde ná tiontú fuinnimh na n-adamh galaithe, rud a ghineann teas níos airde agus a fheabhsaíonn an greamaitheacht idir na hadaimh spútartha agus an tsubstráit. Ina theannta sin, táirgeann roinnt adamh spútartha ardfhuinnimh céimeanna éagsúla insteallta, ag cruthú ciseal bréag-idirleata ar an tsubstráit. Ina theannta sin, glantar agus gníomhachtaítear an tsubstráit i gcónaí sa réigiún plasma le linn an phróisis foirmithe scannáin, rud a bhaineann na hadaimh spútartha a bhfuil greamaitheacht lag acu, agus a íonaíonn agus a ghníomhaíonn dromchla an tsubstráit. Dá bhrí sin, tá greamaitheacht láidir ag an scannán spútartha leis an tsubstráit.

③ Is féidir scannán ábhair nua difriúil ón sprioc a ullmhú

Má chuirtear gás imoibríoch isteach le linn an spútarála chun é a imoibriú leis an sprioc, is féidir scannán ábhair nua atá go hiomlán difriúil ón sprioc a fháil. Mar shampla, úsáidtear sileacan mar an sprioc spútarála, agus cuirtear ocsaigin agus argón isteach sa seomra folúis le chéile. Tar éis an spútarála, is féidir scannán inslithe SiOz a fháil. Agus tíotáiniam á úsáid mar an sprioc spútarála, cuirtear nítrigin agus argón isteach sa seomra folúis le chéile, agus is féidir an scannán ór-chruthach TiN céime a fháil tar éis an spútarála.

④ Ard-íonacht agus dea-chaighdeán scannáin

Ós rud é nach bhfuil aon chomhpháirt bhreogáin sa fheiste ullmhúcháin scannáin spútarála, ní mheascfar comhpháirteanna ábhar téitheoir an bhreogáin sa chiseal scannáin spútarála. Is iad na míbhuntáistí a bhaineann le sciath spútarála ná go bhfuil luas foirmithe an scannáin níos moille ná luas sciath galúcháin, go bhfuil teocht an tsubstráit níos airde, go bhfuil sé éasca tionchar a imirt ar ghás eisíontas, agus go bhfuil struchtúr an fheiste níos casta.

Tá an t-alt seo foilsithe ag Guangdong Zhenhua, monaróir detrealamh sciath folúis