Saintréithe sciath spútarála maighnéadrón Caibidil 1

I gcomparáid le teicneolaíochtaí sciath eile, is iad na gnéithe seo a leanas is sainairíonna do sciath spútarála maighnéadrón: tá raon coigeartaithe dinimiciúil mór ag na paraiméadair oibre maidir le luas agus tiús an taiscthe sciath (staid an limistéir sciathaithe) is féidir a rialú go héasca, agus níl aon teorainn dearaidh ar gheoiméadracht sprioc an mhaighnéadrón chun aonfhoirmeacht an sciath a chinntiú; níl aon fhadhb ann le cáithníní braoiníní sa chiseal scannáin; is féidir beagnach gach miotal, cóimhiotal agus criadóireacht a dhéanamh ina n-ábhair sprice; agus is féidir an t-ábhar sprice a tháirgeadh trí spútaráil maighnéadrón DC nó RF, ar féidir leis sciatha miotail nó cóimhiotail íon a ghiniúint le cóimheas beacht, chomh maith le scannáin imoibríocha miotail le rannpháirtíocht gáis. Trí spútaráil DC nó RF, is féidir sciatha miotail nó cóimhiotail íon a ghiniúint le cóimheasa beachta agus tairiseacha, chomh maith le scannáin imoibríocha miotail le rannpháirtíocht gáis, chun freastal ar riachtanais éagsúlachta scannán tanaí agus cruinneas ard. Is iad seo a leanas na paraiméadair phróisis tipiciúla le haghaidh sciath spútarála maighnéadrón: brú oibre 0.1Pa; voltas sprice 300 ~ 700V; dlús cumhachta sprice 1 ~ 36W / cm².

Is iad seo a leanas gnéithe sonracha spútaradh maighnéadrón:

(1) Ráta ard taiscthe. Mar gheall ar úsáid leictreoidí maighnéadróin, is féidir sruth ian buamála sprice an-mhór a fháil, mar sin tá an ráta greanta spútar ar dhromchla na sprice agus an ráta taiscthe scannáin ar dhromchla an tsubstráit an-ard araon.

(2) Éifeachtúlacht ardchumhachta. Tá dóchúlacht imbhuailte leictreon ísealfhuinnimh agus adaimh gháis ard, mar sin méadaítear an ráta díscaoilte gáis go mór. Dá réir sin, laghdaítear impedance an gháis urscaoilte (nó an plasma) go mór. Dá bhrí sin, i gcomparáid le spútaráil maighnéadrón DC, fiú má laghdaítear an brú oibre ó 1 ~ 10 Pa go 10-210-1 Pa, laghdaítear an voltas spútarála ó na mílte volta go na céadta volta freisin, méadaítear éifeachtúlacht spútarála agus ráta taiscthe faoi orduithe méide.

–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua