① Goede kontrôleerberens en werhelberens fan filmdikte
Oft de filmdikte kontroleare wurde kin op in foarôf bepaalde wearde wurdt filmdiktekontrolearberens neamd. De fereaske filmdikte kin in protte kearen werhelle wurde, wat de werhelberens fan filmdikte neamd wurdt. Omdat de ûntladingsstroom en doelstroom fan fakuümsputtercoating apart kontroleare wurde kinne. Dêrom is de dikte fan 'e sputterde film kontrolearber, en kin de film mei foarôf bepaalde dikte betrouber ôfset wurde. Derneist kin de sputtercoating in film mei unifoarme dikte op in grut oerflak krije.
② Sterke adhesion tusken film en substraat
De enerzjy fan sputterde atomen is 1-2 oarders fan grutte heger as dy fan ferdampte atomen. De enerzjykonverzje fan 'e hege-enerzjy sputterde atomen dy't op it substraat ôfset binne, is folle heger as dy fan 'e ferdampte atomen, wat hegere waarmte genereart en de adhesion tusken de sputterde atomen en it substraat ferbetteret. Derneist produsearje guon hege-enerzjy sputterde atomen ferskillende graden fan ynjeksje, wêrtroch't in pseudodiffúzjelaach op it substraat ûntstiet. Derneist wurdt it substraat altyd skjinmakke en aktivearre yn it plasmagebiet tidens it filmfoarmingsproses, wêrtroch't de sputterde atomen mei swakke adhesion fuorthelle wurde, en it substraatoerflak suvere en aktivearre wurdt. Dêrom hat de sputterde film in sterke adhesion oan it substraat.
③ Nije materiaalfilm oars as it doel kin taret wurde
As reaktyf gas ynbrocht wurdt tidens it sputterjen om it mei it doel te reagearjen, kin in nije materiaalfilm krigen wurde dy't folslein oars is as it doel. Bygelyks, silisium wurdt brûkt as it sputterdoel, en soerstof en argon wurde tegearre yn 'e fakuümkeamer pleatst. Nei it sputterjen kin SiOz-isolearjende film krigen wurde. Mei titanium as it sputterdoel wurde stikstof en argon tegearre yn 'e fakuümkeamer pleatst, en kin de faze TiN goud-eftige film krigen wurde nei it sputterjen.
④ Hege suverens en goede kwaliteit fan film
Omdat der gjin kroeskomponint yn it sputterfilmtariedingsapparaat sit, sille de komponinten fan it kroesferwaarmingsmateriaal net mingd wurde yn 'e sputterfilmlaach. De neidielen fan sputtercoating binne dat de filmfoarmingssnelheid stadiger is as dy fan ferdampingscoating, de substraattemperatuer heger is, it maklik beynfloede wurdt troch ûnrein gas, en de struktuer fan it apparaat is komplekser.
Dit artikel is publisearre troch Guangdong Zhenhua, in fabrikant fanfakuümcoatingapparatuer
Pleatsingstiid: 9 maart 2023