① کنترلپذیری خوب و تکرارپذیری ضخامت فیلم
اینکه آیا ضخامت فیلم را میتوان در یک مقدار از پیش تعیینشده کنترل کرد، قابلیت کنترل ضخامت فیلم نامیده میشود. ضخامت فیلم مورد نیاز را میتوان بارها تکرار کرد که به آن تکرارپذیری ضخامت فیلم میگویند. زیرا جریان تخلیه و جریان هدف پوششدهی اسپاترینگ خلاء را میتوان بهطور جداگانه کنترل کرد. بنابراین، ضخامت فیلم اسپاترینگ قابل کنترل است و فیلم با ضخامت از پیش تعیینشده را میتوان بهطور قابل اعتمادی رسوب داد. علاوه بر این، پوشش اسپاترینگ میتواند فیلمی با ضخامت یکنواخت روی یک سطح بزرگ به دست آورد.
② چسبندگی قوی بین فیلم و زیرلایه
انرژی اتمهای کندوپاششده ۱ تا ۲ برابر بیشتر از اتمهای تبخیرشده است. تبدیل انرژی اتمهای کندوپاششده با انرژی بالا که روی زیرلایه رسوب داده میشوند، بسیار بیشتر از اتمهای تبخیرشده است که باعث تولید گرمای بیشتر و افزایش چسبندگی بین اتمهای کندوپاششده و زیرلایه میشود. علاوه بر این، برخی از اتمهای کندوپاششده با انرژی بالا، درجات مختلفی از تزریق ایجاد میکنند و یک لایه شبهانتشار روی زیرلایه تشکیل میدهند. علاوه بر این، زیرلایه همیشه در طول فرآیند تشکیل فیلم در ناحیه پلاسما تمیز و فعال میشود که اتمهای کندوپاششده با چسبندگی ضعیف را حذف کرده و سطح زیرلایه را خالص و فعال میکند. بنابراین، فیلم کندوپاششده چسبندگی قوی به زیرلایه دارد.
③ میتوان فیلم جدیدی از جنس مواد متفاوت از هدف تهیه کرد
اگر در حین کندوپاش، گاز واکنشی وارد شود تا با هدف واکنش دهد، میتوان یک لایه نازک جدید از ماده را که کاملاً با هدف متفاوت است، به دست آورد. به عنوان مثال، از سیلیکون به عنوان هدف کندوپاش استفاده میشود و اکسیژن و آرگون با هم در محفظه خلاء قرار میگیرند. پس از کندوپاش، میتوان لایه نازک عایق SiOz را به دست آورد. با استفاده از تیتانیوم به عنوان هدف کندوپاش، نیتروژن و آرگون با هم در محفظه خلاء قرار میگیرند و پس از کندوپاش، لایه نازک شبه طلا TiN حاصل میشود.
④ خلوص بالا و کیفیت خوب فیلم
از آنجایی که هیچ جزء بوتهای در دستگاه آمادهسازی فیلم اسپاترینگ وجود ندارد، اجزای ماده گرمکننده بوته در لایه فیلم اسپاترینگ مخلوط نخواهند شد. معایب پوشش اسپاترینگ این است که سرعت تشکیل فیلم کندتر از پوشش تبخیری است، دمای زیرلایه بالاتر است، به راحتی تحت تأثیر گاز ناخالصی قرار میگیرد و ساختار دستگاه پیچیدهتر است.
این مقاله توسط گوانگدونگ ژنهوا، تولیدکننده ... منتشر شده است.تجهیزات پوششدهی در خلاء
زمان ارسال: 9 مارس 2023