Pihustuskattekilede omadused

1. Kile paksuse hea juhitavus ja korduvus

Seda, kas kile paksust saab etteantud väärtusel reguleerida, nimetatakse kile paksuse kontrollitavuseks. Nõutavat kile paksust saab mitu korda korrata, mida nimetatakse kile paksuse korduvuseks. Kuna vaakumpihustamise katte tühjendusvoolu ja sihtvoolu saab eraldi reguleerida, on pihustatud kile paksus reguleeritav ja etteantud paksusega kile saab usaldusväärselt peale kanda. Lisaks võimaldab pihustuskate saada ühtlase paksusega kile suurele pinnale.

② Kile ja aluspinna vaheline tugev nakkuvus

Pihustatud aatomite energia on 1-2 suurusjärku suurem kui aurustunud aatomitel. Substraadile sadestatud suure energiaga pritsitud aatomite energiakonversioon on palju suurem kui aurustunud aatomitel, mis tekitab suuremat soojust ja parandab pritsitud aatomite ja substraadi vahelist adhesiooni. Lisaks tekitavad mõned suure energiaga pritsitud aatomid erineva sissepritse astme, moodustades substraadile pseudodifusioonkihi. Lisaks puhastatakse ja aktiveeritakse substraat kile moodustamise protsessi käigus plasmapiirkonnas, mis eemaldab nõrga adhesiooniga pritsitud aatomid ning puhastab ja aktiveerib substraadi pinda. Seetõttu on pritsitud kilel substraadiga tugev adhesioon.

③ Saab valmistada uut materjalikilet, mis erineb sihtmärgist

Kui pihustamise ajal lisatakse reaktiivgaasi, mis reageerib sihtmärgiga, on võimalik saada uus ja sihtmärgist täiesti erinev materjalikile. Näiteks kasutatakse pihustussihtmärgina räni ning vaakumkambrisse pannakse koos hapnik ja argoon. Pärast pihustamist saadakse SiOz isoleerkile. Titaani kasutamisel pihustussihtmärgina pannakse vaakumkambrisse koos lämmastik ja argoon ning pärast pihustamist saadakse kullalaadne TiN-kile.

4. Kile kõrge puhtusaste ja hea kvaliteet

Kuna pihustuskile ettevalmistusseadmes puudub tiiglikomponent, ei segune tiigliküttematerjali komponendid pihustuskile kihis. Pihustuskatte puudusteks on aeglasem kile moodustamise kiirus kui aurustuskatmisel, kõrgem aluspinna temperatuur, lisandgaaside kergem mõju ning keerukam seadme struktuur.

Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua, mis on tootjavaakumkatmisseadmed