Võrreldes teiste katmistehnoloogiatega iseloomustavad magnetronpihustamise meetodil katmist järgmised omadused: tööparameetritel on suur dünaamiline reguleerimisvahemik, katte sadestamise kiirust ja paksust (kattealuse ala olekut) saab hõlpsalt reguleerida ning magnetroni sihtmärgi geomeetrial puuduvad konstruktsioonipiirangud, et tagada katte ühtlus; kilekihis ei ole tilkade osakeste probleemi; peaaegu kõiki metalle, sulameid ja keraamikat saab valmistada sihtmärgimaterjalideks; ja sihtmärgimaterjali saab toota alalisvoolu või raadiosagedusliku magnetronpihustamise abil, mis võimaldab genereerida täpse suhtega puhtaid metall- või sulamkatteid, samuti gaasi osalusega metallreaktiivseid kilesid. Alalisvoolu või raadiosagedusliku pihustamise abil on võimalik genereerida täpse ja konstantse suhtega puhtaid metall- või sulamkatteid, samuti gaasi osalusega metallreaktiivseid kilesid, et täita õhukese kile mitmekesisuse ja suure täpsuse nõudeid. Magnetronpihustamise meetodil katmise tüüpilised protsessiparameetrid on: töörõhk 0,1 Pa; sihtmärgi pinge 300–700 V; sihtmärgi võimsustihedus 1–36 W/cm².
Magnetronpihustamise eripärad on järgmised:
(1) Suur sadestumiskiirus. Magnetronelektroodide kasutamise tõttu on võimalik saavutada väga suur sihtmärgi pommitamise ioonvool, mistõttu on nii sihtmärgi pinnal pritsimise söövituskiirus kui ka aluspinnale kile sadestumiskiirus väga kõrge.
(2) Suur energiatõhusus. Madala energiaga elektronide ja gaasiaatomite kokkupõrke tõenäosus on suur, mistõttu gaasi dissotsiatsioonikiirus suureneb oluliselt. Sellest tulenevalt väheneb oluliselt tühjendusgaasi (või plasma) impedants. Seetõttu on alalisvoolu magnetroni pihustamine võrreldes alalisvoolu dipoolpihustamisega suurem, isegi kui töörõhku vähendatakse 1–10 Pa-lt 10–210–1 Pa-ni, väheneb pihustamispinge tuhandetelt voltidelt sadadele voltidele, mis suurendab pihustamise efektiivsust ja sadestumiskiirust suurusjärkude võrra.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 01. dets. 2023