Kompare kun aliaj tegaĵaj teknologioj, magnetrona ŝprucado karakteriziĝas per la jenaj trajtoj: la laborparametroj havas grandan dinamikan agordan gamon de la tegaĵa depona rapido kaj dikeco (la stato de la tegita areo) povas esti facile kontrolitaj, kaj ne ekzistas dezajna limigo pri la geometrio de la magnetrona celo por certigi la unuformecon de la tegaĵo; ne ekzistas problemo pri gutetoj en la filmtavolo; preskaŭ ĉiuj metaloj, alojoj kaj ceramikaĵoj povas esti transformitaj en celmaterialojn; kaj la celmaterialo povas esti produktita per kontinua kurenta aŭ radiofrekvenca magnetrona ŝprucado, kiu povas generi purajn metalajn aŭ alojajn tegaĵojn kun preciza proporcio, same kiel metalreaktivajn filmojn kun gasa partopreno. Per kontinua aŭ radiofrekvenca ŝprucado, eblas generi purajn metalajn aŭ alojajn tegaĵojn kun precizaj kaj konstantaj proporcioj, same kiel metalreaktivajn filmojn kun gasa partopreno, por plenumi la postulojn de maldika filmdiverseco kaj alta precizeco. Tipaj procezparametroj por magnetrona ŝprucado estas: laborpremo de 0.1Pa; cela tensio de 300~700V; cela potenca denseco de 1~36W/cm².
La specifaj trajtoj de magnetrona ŝprucado estas:
(1) Alta depozicia rapideco. Pro la uzo de magnetronaj elektrodoj, oni povas atingi tre grandan celan bombadan jonan kurenton, do la ŝpruca gravura rapideco sur la cela surfaco kaj la filmdepozicia rapideco sur la substrata surfaco estas ambaŭ tre altaj.
(2) Alta energia efikeco. La kolizia probableco de malalt-energiaj elektronoj kaj gasatomoj estas alta, do la gasa disociiĝofteco multe pliiĝas. Sekve, la impedanco de la eliga gaso (aŭ plasmo) multe reduktiĝas. Tial, dum kontinukurenta magnetrona ŝprucado kompare kun kontinukurenta dipola ŝprucado, eĉ se la laborpremo malpliiĝas de 1~10 Pa al 10-210-1 Pa, la ŝpruca tensio ankaŭ malpliiĝas de miloj da voltoj al centoj da voltoj, la ŝpruca efikeco kaj la depozicia rapideco pliiĝas je grandordoj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 1-a de decembro 2023