① Καλή δυνατότητα ελέγχου και επαναληψιμότητας του πάχους της μεμβράνης
Το κατά πόσον το πάχος της μεμβράνης μπορεί να ελεγχθεί σε μια προκαθορισμένη τιμή ονομάζεται ελεγξιμότητα πάχους μεμβράνης. Το απαιτούμενο πάχος της μεμβράνης μπορεί να επαναληφθεί πολλές φορές, κάτι που ονομάζεται επαναληψιμότητα πάχους μεμβράνης. Επειδή το ρεύμα εκκένωσης και το ρεύμα-στόχος της επίστρωσης ψεκασμού κενού μπορούν να ελεγχθούν ξεχωριστά, το πάχος της ψεκασμένης μεμβράνης είναι ελεγχόμενο και η μεμβράνη με προκαθορισμένο πάχος μπορεί να εναποτεθεί αξιόπιστα. Επιπλέον, η επίστρωση ψεκασμού μπορεί να επιτύχει μια μεμβράνη με ομοιόμορφο πάχος σε μια μεγάλη επιφάνεια.
② Ισχυρή πρόσφυση μεταξύ μεμβράνης και υποστρώματος
Η ενέργεια των ψεκασμένων ατόμων είναι 1-2 τάξεις μεγέθους υψηλότερη από αυτή των εξατμισμένων ατόμων. Η μετατροπή ενέργειας των ψεκασμένων ατόμων υψηλής ενέργειας που εναποτίθενται στο υπόστρωμα είναι πολύ υψηλότερη από αυτή των εξατμισμένων ατόμων, γεγονός που παράγει υψηλότερη θερμότητα και ενισχύει την πρόσφυση μεταξύ των ψεκασμένων ατόμων και του υποστρώματος. Επιπλέον, ορισμένα ψεκασμένα άτομα υψηλής ενέργειας παράγουν διαφορετικούς βαθμούς έγχυσης, σχηματίζοντας ένα στρώμα ψευδοδιάχυσης στο υπόστρωμα. Επιπλέον, το υπόστρωμα καθαρίζεται και ενεργοποιείται πάντα στην περιοχή πλάσματος κατά τη διάρκεια της διαδικασίας σχηματισμού μεμβράνης, η οποία αφαιρεί τα ψεκασμένα άτομα με ασθενή πρόσφυση και καθαρίζει και ενεργοποιεί την επιφάνεια του υποστρώματος. Επομένως, η ψεκασμένη μεμβράνη έχει ισχυρή πρόσφυση στο υπόστρωμα.
③ Μπορεί να παρασκευαστεί νέο φιλμ υλικού διαφορετικό από τον στόχο
Εάν κατά τη διάρκεια του ψεκασμού εισαχθεί αντιδραστικό αέριο για να αντιδράσει με τον στόχο, μπορεί να ληφθεί μια νέα υλική μεμβράνη εντελώς διαφορετική από τον στόχο. Για παράδειγμα, χρησιμοποιείται πυρίτιο ως στόχος ψεκασμού και οξυγόνο και αργό εισάγονται μαζί στον θάλαμο κενού. Μετά τον ψεκασμό, μπορεί να ληφθεί μονωτική μεμβράνη SiOz. Χρησιμοποιώντας τιτάνιο ως στόχο ψεκασμού, άζωτο και αργό εισάγονται μαζί στον θάλαμο κενού και η μεμβράνη φάσης TiN που μοιάζει με χρυσό μπορεί να ληφθεί μετά τον ψεκασμό.
④ Υψηλή καθαρότητα και καλή ποιότητα φιλμ
Δεδομένου ότι δεν υπάρχει συστατικό χωνευτηρίου στη συσκευή προετοιμασίας μεμβράνης ψεκασμού, τα συστατικά του υλικού θέρμανσης χωνευτηρίου δεν θα αναμειχθούν στο στρώμα μεμβράνης ψεκασμού. Τα μειονεκτήματα της επίστρωσης ψεκασμού είναι ότι η ταχύτητα σχηματισμού μεμβράνης είναι χαμηλότερη από αυτή της επίστρωσης εξάτμισης, η θερμοκρασία του υποστρώματος είναι υψηλότερη, είναι εύκολο να επηρεαστεί από αέρια πρόσμειξης και η δομή της συσκευής είναι πιο περίπλοκη.
Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται από την Guangdong Zhenhua, κατασκευαστή τουεξοπλισμός επίστρωσης κενού
Ώρα δημοσίευσης: 09 Μαρτίου 2023