① Rheoladwyedd ac ailadroddadwyedd da o drwch ffilm
Gelwir y cwestiwn a ellir rheoli trwch y ffilm ar werth penodedig ymlaen llaw yn rheoladwyedd trwch ffilm. Gellir ailadrodd y trwch ffilm gofynnol sawl gwaith, a elwir yn ailadroddadwyedd trwch ffilm. Oherwydd gellir rheoli cerrynt rhyddhau a cherrynt targed yr haen chwistrellu gwactod ar wahân. Felly, mae trwch y ffilm chwistrellu yn rheoladwy, a gellir dyddodi'r ffilm â thrwch penodedig yn ddibynadwy. Yn ogystal, gall yr haen chwistrellu gael ffilm â thrwch unffurf ar arwyneb mawr.
② Gludiad cryf rhwng ffilm a swbstrad
Mae egni atomau wedi'u chwistrellu 1-2 orchymyn maint yn uwch nag egni atomau wedi'u hanweddu. Mae trosi egni'r atomau wedi'u chwistrellu egni uchel a adneuwyd ar y swbstrad yn llawer uwch nag egni'r atomau wedi'u hanweddu, sy'n cynhyrchu gwres uwch ac yn gwella'r adlyniad rhwng yr atomau wedi'u chwistrellu a'r swbstrad. Yn ogystal, mae rhai atomau wedi'u chwistrellu egni uchel yn cynhyrchu gwahanol raddau o chwistrelliad, gan ffurfio haen ffug-drylediad ar y swbstrad. Yn ogystal, mae'r swbstrad bob amser yn cael ei lanhau a'i actifadu yn y rhanbarth plasma yn ystod y broses ffurfio ffilm, sy'n tynnu'r atomau chwistrellu sydd â adlyniad gwan, ac yn puro ac yn actifadu wyneb y swbstrad. Felly, mae gan y ffilm wedi'i chwistrellu adlyniad cryf i'r swbstrad.
③ Gellir paratoi ffilm ddeunydd newydd sy'n wahanol i'r targed
Os cyflwynir nwy adweithiol yn ystod y chwistrellu i'w wneud yn adweithio â'r targed, gellir cael ffilm ddeunydd newydd sy'n gwbl wahanol i'r targed. Er enghraifft, defnyddir silicon fel y targed chwistrellu, a rhoddir ocsigen ac argon yn y siambr wactod gyda'i gilydd. Ar ôl chwistrellu, gellir cael ffilm inswleiddio SiOz. Gan ddefnyddio titaniwm fel y targed chwistrellu, rhoddir nitrogen ac argon yn y siambr wactod gyda'i gilydd, a gellir cael y ffilm TiN tebyg i aur ar ôl chwistrellu.
④ Purdeb uchel ac ansawdd da o ffilm
Gan nad oes cydran croeslin yn y ddyfais paratoi ffilm chwistrellu, ni fydd cydrannau deunydd gwresogydd y croeslin yn cael eu cymysgu yn yr haen ffilm chwistrellu. Anfanteision cotio chwistrellu yw bod cyflymder ffurfio ffilm yn arafach na chyflymder cotio anweddu, mae tymheredd y swbstrad yn uwch, mae'n hawdd cael ei effeithio gan nwy amhuredd, ac mae strwythur y ddyfais yn fwy cymhleth.
Cyhoeddir yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua, gwneuthurwr ooffer cotio gwactod
Amser postio: Mawrth-09-2023