O'i gymharu â thechnolegau cotio eraill, nodweddir cotio chwistrellu magnetron gan y nodweddion canlynol: mae gan y paramedrau gweithio ystod addasu deinamig fawr o gyflymder dyddodiad cotio a gellir rheoli trwch (cyflwr yr ardal wedi'i gorchuddio) yn hawdd, ac nid oes cyfyngiad dylunio ar geometreg targed y magnetron i sicrhau unffurfiaeth y cotio; nid oes problem o ronynnau diferion yn yr haen ffilm; gellir gwneud bron pob metel, aloi a cherameg yn ddeunyddiau targed; a gellir cynhyrchu'r deunydd targed trwy chwistrellu magnetron DC neu RF, a all gynhyrchu cotiau metel neu aloi pur gyda chymhareb fanwl gywir, yn ogystal â ffilmiau adweithiol metel gyda chyfranogiad nwy. Trwy chwistrellu DC neu RF, mae'n bosibl cynhyrchu cotiau metel neu aloi pur gyda chymhareb fanwl gywir a chyson, yn ogystal â ffilmiau adweithiol metel gyda chyfranogiad nwy, i fodloni gofynion amrywiaeth ffilm denau a chywirdeb uchel. Paramedrau proses nodweddiadol ar gyfer cotio chwistrellu magnetron yw: pwysau gweithio o 0.1Pa; foltedd targed o 300 ~ 700V; dwysedd pŵer targed o 1 ~ 36W / cm².
Nodweddion penodol chwistrellu magnetron yw:
(1) Cyfradd dyddodiad uchel. Oherwydd y defnydd o electrodau magnetron, gellir cael cerrynt ïon bomio targed mawr iawn, felly mae'r gyfradd ysgythru chwistrellu ar wyneb y targed a'r gyfradd dyddodiad ffilm ar wyneb y swbstrad ill dau yn uchel iawn.
(2) Effeithlonrwydd pŵer uchel. Mae tebygolrwydd gwrthdrawiad electronau ynni isel ac atomau nwy yn uchel, felly mae'r gyfradd daduniad nwy yn cynyddu'n fawr. Yn unol â hynny, mae rhwystriant y nwy rhyddhau (neu'r plasma) yn cael ei leihau'n fawr. Felly, o'i gymharu â chwistrellu deuol DC, hyd yn oed os yw'r pwysau gweithio yn cael ei leihau o 1 ~ 10Pa i 10-210-1Pa, mae foltedd chwistrellu hefyd yn cael ei leihau o filoedd o foltiau i gannoedd o foltiau, mae effeithlonrwydd chwistrellu a chyfradd dyddodiad yn cynyddu o orchmynion maint.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Rhag-01-2023