① Dobrá ovladatelnost a opakovatelnost tloušťky filmu
To, zda lze tloušťku filmu regulovat na předem stanovené hodnotě, se nazývá řiditelnost tloušťky filmu. Požadovanou tloušťku filmu lze mnohokrát opakovat, což se nazývá opakovatelnost tloušťky filmu. Protože výbojový proud a proud terče vakuového naprašování lze regulovat odděleně, je tloušťka naprašovaného filmu proto řiditelná a film s předem určenou tloušťkou lze spolehlivě nanášet. Naprašování navíc umožňuje dosáhnout filmu s rovnoměrnou tloušťkou na velké ploše.
② Silná přilnavost mezi fólií a substrátem
Energie naprašovaných atomů je o 1–2 řády vyšší než energie odpařených atomů. Energetická konverze vysokoenergetických naprašovaných atomů nanesených na substrát je mnohem vyšší než u odpařených atomů, což generuje vyšší teplo a zlepšuje adhezi mezi naprašovanými atomy a substrátem. Některé vysokoenergetické naprašované atomy navíc produkují různý stupeň vstřikování, čímž na substrátu vytvářejí pseudodifuzní vrstvu. Substrát je navíc během procesu tvorby filmu vždy vyčištěn a aktivován v plazmové oblasti, což odstraňuje naprašované atomy se slabou adhezí a čistí a aktivuje povrch substrátu. Naprašovaný film má proto silnou adhezi k substrátu.
③ Lze připravit nový materiálový film odlišný od cílového
Pokud se během naprašování zavede reaktivní plyn, který reaguje s terčem, lze získat nový materiálový film, který se zcela liší od terče. Například se jako naprašovací terč použije křemík a do vakuové komory se společně přivede kyslík a argon. Po naprašování lze získat izolační film SiOz. Při použití titanu jako naprašovacího terče se do vakuové komory společně přivede dusík a argon a po naprašování lze získat fázový film TiN podobný zlatu.
④ Vysoká čistota a dobrá kvalita filmu
Protože v zařízení pro přípravu naprašovacího filmu není žádná složka kelímku, složky materiálu ohřívače kelímku se ve vrstvě naprašovacího filmu nemísí. Nevýhodou naprašování je, že rychlost tvorby filmu je pomalejší než u napařování, teplota substrátu je vyšší, je snadno ovlivněn nečistotami a struktura zařízení je složitější.
Tento článek publikoval Guangdong Zhenhua, výrobcezařízení pro vakuové lakování
Čas zveřejnění: 9. března 2023