Kung itandi sa ubang mga teknolohiya sa coating, ang magnetron sputtering coating gihulagway sa mosunod nga mga bahin: ang working parameters adunay dako nga dinamikong adjustment range sa coating deposition speed ug gibag-on (ang kahimtang sa adunay sapaw nga lugar) dali nga makontrol, ug walay disenyo nga limitasyon sa geometry sa magnetron nga target aron maseguro ang pagkaparehas sa coating; walay problema sa droplet particles sa film layer; halos tanan nga mga metal, mga haluang metal, ug mga seramiko mahimong himoong target nga mga materyales; ug ang target nga materyal mahimong maprodyus sa DC o RF magnetron sputtering, nga makamugna og puro nga metal o alloy coatings nga adunay tukma nga ratio, ingon man mga metal reactive films nga adunay partisipasyon sa gas. Pinaagi sa DC o RF sputtering, posible nga makamugna og puro nga metal o alloy coatings nga adunay tukma ug makanunayon nga mga ratios, ingon man mga metal reactive films nga adunay partisipasyon sa gas, aron matubag ang mga kinahanglanon sa thin film diversity ug high precision. Ang kasagarang mga parameter sa proseso alang sa magnetron sputtering coating mao ang: working pressure sa 0.1Pa; target nga boltahe sa 300 ~ 700V; target nga gahum Densidad sa 1 ~ 36W/cm².
Ang piho nga mga bahin sa magnetron sputtering mao ang:
(1) Taas nga deposition rate. Tungod sa paggamit sa magnetron electrodes, ang usa ka dako kaayo nga target bombardment ion kasamtangan nga makuha, mao nga ang sputter etching rate sa target nawong ug ang film deposition rate sa substrate nawong mao ang duha ka taas kaayo.
(2) Taas nga kahusayan sa gahum. Ang kalagmitan sa pagbangga sa ubos nga enerhiya nga mga electron ug mga atomo sa gas taas, mao nga ang gas dissociation rate misaka pag-ayo. Tungod niini, ang impedance sa discharge gas (o plasma) mikunhod pag-ayo. Busa, ang DC magnetron sputtering kon itandi sa DC dipole sputtering, bisan kon ang working pressure mikunhod gikan sa 1 ~ 10Pa ngadto sa 10-210-1Pa sputtering boltahe usab pagkunhod gikan sa liboan ka mga volts ngadto sa gatusan ka mga volts, sputtering efficiency ug deposition rate misaka sa mga order sa magnitude.
–Kini nga artikulo gipagawas nivacuum coating machine manufacturerGuangdong Zhenhua
Oras sa pag-post: Dis-01-2023