① ফিল্মের পুরুত্বের ভালো নিয়ন্ত্রণযোগ্যতা এবং পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা
ফিল্মের পুরুত্ব পূর্বনির্ধারিত মান ধরে নিয়ন্ত্রণ করা যায় কিনা তাকে ফিল্মের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণযোগ্যতা বলা হয়। প্রয়োজনীয় ফিল্মের পুরুত্ব বহুবার পুনরাবৃত্তি করা যেতে পারে, যাকে ফিল্মের পুরুত্ব পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা বলা হয়। কারণ ভ্যাকুয়াম স্পুটারিং আবরণের ডিসচার্জ কারেন্ট এবং টার্গেট কারেন্ট আলাদাভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যায়। অতএব, স্পুটারড ফিল্মের পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণযোগ্য, এবং পূর্বনির্ধারিত পুরুত্বের ফিল্মটি নির্ভরযোগ্যভাবে জমা করা যেতে পারে। এছাড়াও, স্পুটার আবরণ একটি বৃহৎ পৃষ্ঠে অভিন্ন পুরুত্বের একটি ফিল্ম পেতে পারে।
② ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে শক্তিশালী আনুগত্য
স্পুটারড পরমাণুর শক্তি বাষ্পীভূত পরমাণুর তুলনায় ১-২ ক্রম বেশি। সাবস্ট্রেটে জমা হওয়া উচ্চ-শক্তি স্পুটারড পরমাণুর শক্তি রূপান্তর বাষ্পীভূত পরমাণুর তুলনায় অনেক বেশি, যা উচ্চ তাপ উৎপন্ন করে এবং স্পুটারড পরমাণু এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য বৃদ্ধি করে। এছাড়াও, কিছু উচ্চ-শক্তি স্পুটারড পরমাণু বিভিন্ন ডিগ্রি ইনজেকশন তৈরি করে, যা সাবস্ট্রেটে একটি সিউডোডিফিউশন স্তর তৈরি করে। এছাড়াও, ফিল্ম গঠনের প্রক্রিয়া চলাকালীন সাবস্ট্রেটটি সর্বদা প্লাজমা অঞ্চলে পরিষ্কার এবং সক্রিয় করা হয়, যা দুর্বল আনুগত্য সহ স্পুটারড পরমাণুগুলিকে সরিয়ে দেয় এবং সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠকে বিশুদ্ধ এবং সক্রিয় করে। অতএব, স্পুটারড ফিল্মটি সাবস্ট্রেটের সাথে শক্তিশালী আনুগত্য ধারণ করে।
③ লক্ষ্যবস্তু থেকে ভিন্ন নতুন উপাদানের ফিল্ম প্রস্তুত করা যেতে পারে
যদি স্পুটারিংয়ের সময় প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস প্রবেশ করানো হয় যাতে এটি লক্ষ্যবস্তুর সাথে প্রতিক্রিয়া করে, তাহলে লক্ষ্যবস্তু থেকে সম্পূর্ণ ভিন্ন একটি নতুন উপাদান ফিল্ম পাওয়া যেতে পারে। উদাহরণস্বরূপ, সিলিকন স্পুটারিং টার্গেট হিসাবে ব্যবহার করা হয়, এবং অক্সিজেন এবং আর্গন একসাথে ভ্যাকুয়াম চেম্বারে রাখা হয়। স্পুটারিংয়ের পরে, SiOz অন্তরক ফিল্ম পাওয়া যেতে পারে। টাইটানিয়ামকে স্পুটারিং টার্গেট হিসাবে ব্যবহার করে, নাইট্রোজেন এবং আর্গন একসাথে ভ্যাকুয়াম চেম্বারে রাখা হয় এবং স্পুটারিংয়ের পরে ফেজ TiN সোনার মতো ফিল্ম পাওয়া যেতে পারে।
④ উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং ভালো মানের ফিল্ম
যেহেতু স্পুটারিং ফিল্ম প্রস্তুতি ডিভাইসে কোনও ক্রুসিবল উপাদান নেই, তাই ক্রুসিবল হিটার উপাদানের উপাদানগুলি স্পুটারিং ফিল্ম স্তরে মিশ্রিত হবে না। স্পুটারিং লেপের অসুবিধাগুলি হল ফিল্ম গঠনের গতি বাষ্পীভবন আবরণের তুলনায় ধীর, সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা বেশি, অপরিষ্কার গ্যাস দ্বারা প্রভাবিত হওয়া সহজ এবং ডিভাইসের গঠন আরও জটিল।
এই প্রবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া দ্বারা প্রকাশিত, যা একটি প্রস্তুতকারকভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জাম
পোস্টের সময়: মার্চ-০৯-২০২৩