خصائص أفلام الطلاء بالرش

① القدرة الجيدة على التحكم وتكرار سمك الفيلم

يُطلق على إمكانية التحكم في سمك الغشاء عند قيمة محددة مسبقًا اسم "قابلية التحكم في سمك الغشاء". يمكن تكرار سمك الغشاء المطلوب عدة مرات، وهو ما يُسمى "قابلية تكرار سمك الغشاء". نظرًا لإمكانية التحكم في تيار التفريغ وتيار الهدف لطلاء الرش الفراغي بشكل منفصل، يُمكن التحكم في سمك الغشاء المُرشّ، وترسيب الغشاء ذي السمك المحدد بدقة. بالإضافة إلى ذلك، يُمكن الحصول على غشاء ذي سمك موحد على مساحة كبيرة باستخدام طلاء الرش.

② التصاق قوي بين الفيلم والركيزة

طاقة الذرات المُرشَّحة أعلى بمقدار 1-2 من حيث الحجم من طاقة الذرات المُبخَّرة. إن تحويل الطاقة للذرات المُرشَّحة عالية الطاقة المُترسبة على الركيزة أعلى بكثير من تحويل الذرات المُبخَّرة، مما يُولِّد حرارة أعلى ويُعزِّز الالتصاق بين الذرات المُرشَّحة والركيزة. بالإضافة إلى ذلك، تُنتج بعض الذرات المُرشَّحة عالية الطاقة درجات مختلفة من الحقن، مُشكِّلةً طبقة انتشار زائف على الركيزة. بالإضافة إلى ذلك، تُنظَّف الركيزة وتُنشَّط دائمًا في منطقة البلازما أثناء عملية تكوين الغشاء، مما يُزيل الذرات المُرشَّحة ذات الالتصاق الضعيف، ويُنقِّي سطح الركيزة ويُنشِّطه. لذلك، يتمتع الغشاء المُرشَّح بقوة التصاق قوية بالركيزة.

③ يمكن تحضير فيلم مادة جديد مختلف عن الهدف

إذا أُدخل غاز تفاعلي أثناء عملية الرش لتحفيز تفاعله مع الهدف، يُمكن الحصول على غشاء مادة جديد مختلف تمامًا عن الهدف. على سبيل المثال، يُستخدم السيليكون كهدف للرش، ويُوضع الأكسجين والأرجون معًا في حجرة التفريغ. بعد الرش، يُمكن الحصول على غشاء عازل من SiOz. باستخدام التيتانيوم كهدف للرش، يُوضع النيتروجين والأرجون معًا في حجرة التفريغ، ويُمكن الحصول على غشاء TiN الشبيه بالذهب بعد الرش.

④ نقاء عالي وجودة جيدة للفيلم

نظراً لعدم وجود مُكوِّن بوتقة في جهاز تحضير غشاء الرش، لن تختلط مكونات مادة تسخين البوتقة في طبقة غشاء الرش. من عيوب طلاء الرش أن سرعة تكوين الغشاء أبطأ من طلاء التبخير، وارتفاع درجة حرارة الركيزة، وسهولة تأثرها بالغازات الملوثة، وتعقيد هيكل الجهاز.

تم نشر هذه المقالة بواسطة شركة Guangdong Zhenhua، وهي شركة مصنعة لـمعدات طلاء الفراغ